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日本企业能制造顶尖机床母机,为什么却做不出euv光刻机?

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来源:百度 时间:2019-11-17 21:59:59 访问:358 次

日本的精密机床闻名全球,在这一领域日本不光拥有一大批机床生产企业,而且在超精密加工领域,日本企业同样处于顶尖水平,目前全球精度最高的母机就是来自日本的捷太科特,专门对光学镜头和蓝光镜片模具进行加工和研磨。精密机床被称为工业母机,这些先进设备的生产能力体现了日本企业在工业装备领域的技术领先优势。不过在半导体工业设备领域,高端光刻机技术却掌握在一家荷兰企业手中,就是asml。日本两大光学巨头佳能,尼康面对asml的市场垄断地位,却毫无作为。

半导体光刻机经过6代产品演变,已经进入euv极紫外光刻机阶段,目前14nm制程以下的高端光刻机市场,完全被asml一家所独占。而日本企业佳能,尼康已经没有能力生产14nm工艺制程以下的光刻机,并且放弃了高端euv光刻机的研发。日本号称”技术立国“,几乎所有的工业设备都是自己生产,1982年起,日本就已经是全球最大的机床生产国。

80年代末期,日本半导体产业空前繁荣,世界90%的dram产量来自日本企业,nec,日立,东芝压倒英特尔,成为全球芯片龙头。半导体产业的繁荣也带动了日本半导体设备产业的发展,东京电子,screen等成为市场的佼佼者。不过唯独在光刻机上,日本企业止步不前,拱手将市场让给了asml,那么日本企业为什么没能拿下高端光刻机?

目前主流的说法是日本企业走错了方向。在45nm制程以下制程面临技术瓶颈之际,市场面临两种选择,一种是以尼康,佳能为主,主张开发157nm光源,另一方以台积电为首,主张开发193nm浸入式光刻技术。而asml抓住了机会,率先响应了台积电,并且在2007年推出了第一台浸入式光刻机,突破了45nm工艺制程,逐渐垄断了市场。

表面上看是尼康,佳能选择了错误的方向,更深层的原因是日本企业面对市场的革新浪潮,往往缺乏应变之道和适应能力。有一种说法,日本企业只擅长小打小闹,对于小的改善和改良更拿手,所以一些重大技术进步都来自欧美企业,而日本公司购买了这些专利和发明后,加以改良,再推向市场。虽然这种说法不一定准确,不过还是有一定的道理。日本企业提倡工匠精神,胜在时间的积累,对于细节比较专注,而欠缺对一些重大技术进步的把握。

此外从asml成功的经验来看,这是一家注重开放和创新文化的企业,经常和周边的大学和科研机构进行交流,以掌握最新的技术应用,其中著名的imec(比利时微电子研究所)在asml前进的道路上发挥了很大作用。asml高达九成的零部件来自供应商,他们在世界范围内寻找最好的产品和技术,这家企业独创的客户入股的研发模式相信在世界上是绝无仅有。

而日本企业的文化就封闭很多,大多数的零部件都来自于自己内部系统,并且很少会更换供应商,无形中就形成了巨大的差距。由于光刻机技术高度复杂,涵盖了光学,机械,电子电路,化学等诸多学科,对于专业知识的储备要求极高,因此开放式,学习型的组织显得尤为重要,或许这才是日本企业做不出高端光刻机的真正原因。

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【 责任编辑:cxl 】

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