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MKS真空计901P-42030
产品型号：901P-42030
关键字：MKS真空计901P-42030
关键字描述：901P-42030微型Pirani-Piezo负载锁定真空传感器结合了Piezo和MicroPirani传感器技术，与传统的热导仪相比，其稳定性，可重复性和响应时间显着提高。
产品介绍：
901P-42030微型Pirani-Piezo负载锁定真空传感器结合了Piezo和MicroPirani传感器技术，与传统的热导仪相比，其稳定性，可重复性和响应时间显着提高。它具有0.00001-1000 Torr压力测量范围，可进行大气压切换，并带有4VCR内螺纹接头。它使用RS485数字通讯接口设置传感器参数并提供实时压力测量。901P专为真空负载锁内的压力测量而设计。它具有从大气压到10 -5的压力测量值，可以代替负载锁上的多个压力测量设备r和大气切换功能。与传统的负载锁设计中使用的压力计相比，901P的大气压力测量可以通过缩短循环时间来提高负载锁性能，并防止负载锁被大气污染。901P结合了压力测量和差压测量技术，以提供性能和功能。与气体无关压力测量值，范围从50 -1000 Torr，比导热系数传感器提高了准确性。与传统的Pirani压力计不同，MicroPirani中的传感器元件是由一个1平方毫米的硅芯片制成的，因此可以在很小的体积内进行测量。由于采用了MicroPirani技术，901P可以读取低至10 -5的压力比标准的皮拉尼传感器低二十年的托尔。传感器设计使对流的影响小化，随后901P可以以任何方向安装而不会影响精度。901P还具有1VDC / decade的模拟压力输出，可以将其连接到外部模拟设备以进行压力读数或控制。可以通过数字用户界面选择其他模拟输出和曲线。可选的辅助模拟输出用于提供压差测量。901P多具有三个机械继电器，可用于过程控制，例如互锁隔离阀和真空泵。每个设定点都可以分配给差分压电测量或组合MicroPirani/压电测量。
参数：
绝对测量范围：1.0 x 10 -5至1500
差分测量范围：-760至+760
类型：真空传感器
界面：RS485 /模拟
设定点范围：5.0 x 10 -4托至1000托 差分：-760至100托
标定气体：空气，氩气，氦气，氮气，H2，H2O蒸气，CO2，氙气，氖气
工作温度：0-40°C（32-104°F）
烘烤温度（max.）：85°C（185°F）
模拟量输出:1-9 VDC
模拟输出分辨率:16位
压电微分零稳定性满量程的±0.1％（满量程= 760托）
超压极限1500托
电子套管和法兰304不锈钢
模拟输出2分辨率12位
数字波特率4800-230400波特
