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BROOKS高温质量流量控制计5850EMH系列
来自 Brooks Instrument 的 5850EMH 系列高温金属密封质量流量控制器结合出色的金属密封泄漏完整性，为高温气体测量和控制提供了先进的性能，具有多种选择，允许大的应用灵活性。5850EMH 系列的核心是高稳定的传感器，其提供与流速线性相关的电气输出信号。该信号用于指示、记录和/或控制目的而无需自动归零电路。
特点
高泄漏完整性（小于 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He）
宽流速范围（0.003 - 100 slpm）
高纯度 VAR 316L 不锈钢
无磨粒
氦泄漏检查端口
常闭阀（可选常开阀）
电致动阀复位
低命令流量断流
TTL 兼容"关阀"功能
优势
稳定、可靠的产品平台
高流量，高达 100 lpm（N2 当量）
全金属流路提高气体纯度及减少泄漏
仅使用模拟输入/输出容易安装和维修
应用
光纤制造——MCVD，OVD，AVD
水汽流量控制
Brooks Instrument是精密流体测量和控制技术的全球，能够实现的工艺性能，成立于1946年美国。是是ITW一个部门，ITW是的专业工业设备，消耗品和相关服务业的多元化制造商之一。主要产品包括：Brooks Instrument质量流量控制器、Brooks Instrument转子流量计、Brooks Instrument压力传感器、变送器、真空计、调节器、控制器等，广泛应用于重工业、油气精炼、化学和石化研究、制药和生物制药生产、太阳能电池、LED薄膜、光纤和半导体制造领域。
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