产品详情
1.产生高频电场能量: HUTTINGER射频发电机能够产生固定频率的正弦波电压或脉冲电压,工作频率通常位于射频范围(约3KHz至300GHz) 内,并具有一定的功率输出能力。其主要功能是将低频电能转换为高频电场能量,以满足特定应用的需求。
2.应用领域广泛: HUTTINGER射频发电机在多个领域有广泛应用,包括:
●半导体行业 :用于刻蚀设备和薄膜沉积设备,产生稳定的高频电场,激励等离子体反应,实现材料的精确刻蚀和沉积。
●LED与太阳能光伏产业 :在LED制造过程中用于激发气体放电,产生紫外线光源,促进LED芯片的生长与制备;在太阳能光伏领域用于太阳能电池板的制造过程,如材料的表面处理与改性。
●科学实验 :用于等离子体发生器的驱动,产生稳定的等离子体环境,用于材料表面改性、化学合成反应以及空间环境模拟等研究。
●射频感应加热 :用于射频感应加热器,高效传输能量。
3.技术参数和型号: HUTTINGER提供多种型号的射频发电机,包括TruPlasma DC 3000系列、TruPlasma DC 4000系列、TruPlasma MF3000系列、TruPlasma MF 7000系列、TruPlasma RF 7000系列等。这些型号覆盖了广泛的功率和频率范围,确保等离子体的产生并保持稳定,适用于不同的工艺需求。





