主营产品：露点仪，露点变送器，露点分析仪，露点取样系统，露点
15102116866（市场部 销售经理）
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| 数量() | 价格 |
| 1 | 20000.00元/ |
￥6666.00
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| 详细参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 鑫有研SIYOUYEN | 规格型号 | URE-2000\/35 |
| 编号 | URE-2000\/35 | 计量单位 | 1 |
| 付款方式 | 面议 | 参考价格 | 20000.00 |
| 价格单位 | 人民币 | 供货量 | 不限 |
| 说明书，报价手册及驱动 | 暂无相关下载 | 其他资料下载 | 暂无相关下载 |
| 产地 | 上海上海 | 发货地 | 上海上海 |
| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 全自动紫外光刻机URE-2000/35 品牌 | 鑫有研 SIYOUYEN | ||
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紫外光刻机
产品名称：URE-2000/35型紫外光刻机
创新采用三柔性支点实现高精度自动调平；真空接触自动曝光；样片升降、调平、接触、曝光、复位实现自动化控制；采用积木错位蝇眼透镜实现高均匀照明；可连续设定分离间隙；采用双目双视场显微镜实现高对准精度。整机具有性能可靠、操作方便、自动化程度高等特点。
主要技术指标：
曝光面积：100mm×100mm
分辨力：1um（胶厚1.5μm的正胶）
对准精度：±0.8μm
最大胶厚：300μm（SU8胶）
掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch
样片尺寸：直径Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)；
照明均匀性：±4（Ф100mm 范围）
汞灯功率：350W（直流）
掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°
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