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单面紫外光刻机,教学光刻机URE200017

数量() 价格
1 150000.00元/
  • 供货总量: 电议
  • 最小起订: 1
  • 发货地址: 上海上海
  • 付款方式: 面议
  • 发布日期:2024-01-10
  • 访问量:41
咨询电话:151-0211-6866
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最新发布

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  • 企业地址:博园路1333号北虹桥大厦8509室
  • 营业执照:已审核营业执照
  • 经营模式: 生产加工-私营股份有限公司
  • 所在地区:上海 普陀区
  • 家家通积分:110分

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详细参数
品牌 鑫有研 规格型号 URE200017
编号 URE200017 计量单位 1
付款方式 面议 参考价格 150000.00
价格单位 人民币 供货量 不限
说明书,报价手册及驱动 暂无相关下载 其他资料下载 暂无相关下载
产地 上海上海 发货地 上海上海

产品详情

产品参数
品牌鑫有研






产品名称:URE-2000/17型紫外光刻机
主要技术指标:
曝光面积:100mm×100mm
分辨力:1.5μm(胶厚2μm的正胶);
对准精度:±1μm
最大胶厚:
掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch
样片尺寸:直径Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm);
照明均匀性:±6(Ф100mm 范围)
汞灯功率:200W(直流)
掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°
技术特点:
采用双目双视场显微镜对准;球碗调平,单片机控制,触摸开关,操作方便、实用性强。

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