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产品详情
| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 匀胶机 Laurell 自动滴胶 WS-650MZ-23NPPB/UD3B 品牌 | Laurell | ||
| 是否支持加工定制 | 否 | ||
| 是否进口 | 是 | ||
| 操作方式 | 智能程控 | ||
| 转速范围 | 0-12000rpm | ||
| 加速度范围 | 0-12000rpm | ||
| 工艺时间 | 1-5999.9 sec/step | ||
| 存储程序 | 20条 | ||
| 程序步骤 | 51步 | ||
| 转速分辨率 | 1rpm | ||
| 处理基片尺寸 | 10-150mm | ||
| 腔体材质 | NPP聚丙烯 | ||
| 可售卖地 | 全国 | ||
| 型号 | WS-650Mz-23NPPB | ||
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1、?系统概述
1.1 智能嵌锁，系统盖板具有智能嵌锁装置，确保操作安全；
1.2 防腐装置；
1.3设有保护气体装置：旋涂过程中对旋转马达进行气流保护；
1.4 通信接口，蓝牙连接；
2、处理腔体
2.1 处理腔体内径不小于9.5英寸?(241毫米)；
2.2 Wafer芯片尺寸至少满足10-150mm直径的材料，方片125x125mm，无需更换片托；
2.3 腔体具有易清洁的NPP天然聚丙烯材质；
3、?旋转马达
3.1 转动速度至少满足0-12,000rpm；
3.2 旋涂加速度不小于12,000rpm/sec；
3.3 马达旋涂转速稳定性能误差不超过±1；
4、控制系统
4.1工艺时间设定范围至少满足1-5999.9sec/step ，精度不超过0.1s；
4.2?配有高精度PLC可编程的控制器，设置点精度小于0.006；
4.3 可存储不少于20个程序段，每个程序段可设置不少于51个不同步骤的速度状态；
4.4 分辨率要小于0.5RPM，重复性误差要小于±0.5RPM，具有国际NIST标准认证，并且无需再校准；
5、配套泵浦
5.1 配套真空泵系统：无油型?220~240伏交流，50/60赫兹；
5.2 真空吸附范围25-28 英寸汞柱?(~635-711毫米汞柱)可调节，抽速不小于4.5 SCFM (0.11 立方米/分钟) ；
6、系统附件
6.1 原装进口水平测试仪；?
6.2 两袋密封圈；?
6.3 配有两套可更换的废液接收单元；
6.4 UD自动滴胶装置：UD-3带倒吸装置的多喷嘴可编程针筒；
6.5 EBR晶圆去边，机械装置；
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