产品详情
| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 是否支持加工定制 | 否 | ||
| 仪器重量 | 50kg | ||
| 测量原理 | 共聚焦光学系统 | ||
| 视场范围 | 120×120 μm~1.2×1.2 mm | ||
| 宽度测量显示分辨率 | 1nm | ||
| 品牌 | PLN | ||
| 型号 | PLN 6000 | ||
| X行程范围 | 100mm | ||
| Y行程范围 | 100mm | ||
| Z行程范围 | 100mm | ||
| 外形尺寸 | 520×380×600mm | ||
| 显微物镜 | 10×,20×,50×,100× | ||
| 高度测量重复性*1(1σ) | 12nm | ||
| 高度测量精度*1 | ± (0.2 L/100) μm | ||
| 高度测量显示分辨率 | 0.5nm | ||
| 宽度测量重复性*2(1σ) | 40nm | ||
| 宽度测量精度*2 | ± 2% | ||
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