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产品详情
| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 美国PIE | ||
| 是否支持加工定制 | 否 | ||
| 是否进口 | 是 | ||
| 电源 | 220V | ||
| 用途范围 | 等离子蚀刻、去胶、表面清洁和活化 | ||
| 舱体大小 | 直径160mm x 深280mm | ||
| 气路控制 | 标配两路MFC，最多可选配三路MFC | ||
| 控制系统 | 7英寸电阻触摸屏操作界面 | ||
| 射频频率 | 13.56MHz | ||
| 射频功率 | 标配0~150W，可选配300W或500W | ||
| 可售卖地 | 全国 | ||
| 材质 | 高纯度圆柱形石英舱 | ||
| 型号 | Tergeo-Plus | ||
Tergeo-Plus桌面等离子体系统
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典型应用：
1）引线键合、倒装芯片底部填充、器件封装；
2）用于碳质污染物去除和氧化物还原的SEM/TEM样品清洁；
3）生物医用涂层前的表面处理及提高医用植入物的亲水性；
4）环氧树脂粘合前的光学、玻璃和基板清洁；
5）光刻胶灰化、去渣和硅晶片清洗；
6）PDMS、微流体、载玻片和芯片实验室；
7）金属与金属或复合材料改进结合；
8）塑料、聚合物和复合材料改进粘合；
产品特点：
1、拥有双等离子体源
两种清洗模式:直接模式和下游模式。用于高速蚀刻和表面改性的直接模式等离子体清洗:远程/下游模式等离子体清洗，用于温和去除表面污染物，例如SEM/TEM脆弱易碎样品清洗。
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直接/浸入式清洗模式
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远程/下游式清洗模式
2、等离子传感器
可实时监测等离子状态，并为用户提供不同配方条件下等离子强度的定量反馈，实时显示在液晶触摸屏显示器上。等离子传感器还可以监测等离子灰化过程的进程并用作终点指示器。
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3、连续或脉冲等离子
脉冲比可以从100 调整到小于1。改变等离子体强度超过几个数量级。
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4、过程控制功能
压力传感器、温度传感器、MFC中的气体流量计、双等离子体强度传感器、自动阻抗匹配。
技术参数：
1、控制系统
1）操作界面：7英寸电阻触摸屏操作界面，支持多种工作方式。
2）程序控制：可编程，总共有20个程序，每个程序有3个清洁步骤。
2、反应腔体
1）腔体材质：圆柱形石英玻璃舱；
2）腔体容积：5.6L；
3）腔体尺寸：内径：160毫米，深度：280毫米。
3、射频电源
1）射频频率：13.56MHz；
2）射频功率：标配0~75W；从0瓦到75瓦之间以1瓦间距连续可调，可选配150瓦、300瓦和500瓦。
4、等离子源
1）等离子强度探测器实时测量等离子源强度。
2）外置电极设计，高压电极不合等离子接触以避免金属溅射造成的样品污染。
5、气体控制
1）气路控制：标配两路MFC；可选配三路MFC；
2）质量流量计可以在0~100sccm之间准确控制气体流量；
3）一路(Venting and purging)气体入口用来快速给样品室放气和冲走残余处理气体。
迈可诺技术有限公司
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