产品详情
| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 设备名称 | 小型溅射仪 | ||
| 控制方式 | 手动 /自动模式切换控制 | ||
| 工作电源 | 直流溅射电源 | ||
| 镀膜功能 | 0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 | ||
| 功率 | ≤1000W | ||
| 输出电流 | 电流≤500mA | ||
| 真空度(机械泵) | ≤5Pa(5分钟) | ||
| 分子泵真空度 | ≤5*10^-3Pa | ||
| 挡板类型 | 电控 | ||
| 真空腔室 | 石英腔体φ160mm x 160mm | ||
| 样品台 | 可旋转φ62 | ||
| 样品台转速 | 8转/分钟 | ||
| 溅射真空 | ≤10Pa | ||
| 样品溅射源调节距离 | 40-140mm | ||
| 真空测量 | 皮拉尼真空计(已安装 测量范围10E5Pa 1E-1Pa) | ||
| 用途 | 直空镀膜 | ||
| 品牌 | 郑科探 | ||
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