产品详情
| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 雷尼绍RENISHAW | ||
| 产品特性 | 真空下使用 | ||
| 分辨率 | 0.1UM | ||
| 应用领域 | ***\/航天 | ||
| 种类 | 1000000486 | ||
| 型号 | UHV | ||
真空?(UHV)?光栅，真空光栅包括真空圆光栅和真空直线光栅尺，
UHV产品特征如下：
–?RESOLUTE?UHV是 适合在UHV环境下使用的值真空式光栅
–?由真空兼容材料和粘合剂制成，出气率低
–?残余气体分析?(RGA)?经验证不会污染真空环境
–?120?°C烘焙温度
–?非接触开放式光学系统提供高速、可靠的操作，摩擦和磨损均为零
–?具备工业标准的模拟和数字输出，分辨率达1?nm
–?电耗低、发热小
–?无气密孔
–?自适应电路可提供 长期可靠性和低电子细分
误差?(SDE)（RESOLUTE?UHV为±40?nm，TONiC?UHV为±30?nm，RGH25F?UHV和
RGH20F?UHV为±50?nm)
–?UHV兼容电缆
–?TONiC?UHV光栅具有光学参考零位
–? 直线光栅和圆光栅系列
RESOLUTE?UHV、TONiC?UHV、RGH25F
UHV和RGH20F?UHV读数头
雷尼绍 真空?(UHV)?兼容光栅系列中的所有产品都经过 设计，用于各种科学、半导体
和其他高级工业应用场合，真空压力达10-11?Torr。其基本工作原理与我们的同类标准大气压下的产
品相同，但是UHV光栅在设计上消除气密孔，并且由洁净的真空兼容材料和粘合剂 而成。产
品在UHV环境下的适用性已获得独立的 检验站鉴定，包括残留气体分析?(RGA)?光谱测试。
该系列包括RESOLUTE、TONiC、RGH25F和RGH20F读数头，以及各种直线光栅和圆光
栅，提供 的性能和高可靠性。
RESOLUTE?UHV采用真正意义上的式光栅工作原理，与RESOLUTE系列的其他产品相
同。因此光栅具备小栅距性能，并且安装公差大，内在安全性高。RESOLUTE开启后立即确定
位置，减少非受控运动，并且有助于执行 轴命令，无需返回基准位置或者“开启并晃
动”。RESOLUTE的分辨率为1?nm，电子细分误差?(SDE)?为±40?nm，RMS噪音<10?nm，同时也
帮助用户 提
该系列中的所有增量式读数头都包含动态信号调整功能，其中自动增益控制?(AGC)?有助于长
时间内获取 的信号，而自动偏置量控制?(AOC)?则有助于提高信号保真度。AOC和光栅的
低位置噪声也有助于降低直驱系统的速度波动，从而在程度上帮助减少真空条件下电机中积
聚的热量。
通过直线测量标准确保了 ，其中包括自贴式钢带栅尺、不锈钢和ZeroMet栅尺选项。圆
光栅选项包括轻薄小巧的RESR?/?RESM和超 的REXM圆栅， 度 优于±1角秒。
