产品详情
| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 时滨电子 | ||
| 规格 | 齐全 | ||
| 售卖地 | 全国 | ||
| 质保服务 | 售后无忧 | ||
| 设备 | 先进 | ||
| 发货地 | 上海 | ||
| 实力 | 雄厚 | ||
| 货源 | 充足 | ||
| 口碑 | 良好 | ||
| 专业 | 高效 | ||
| 售后服务 | 好 | ||
| 质量 | 高 | ||
| 货期 | 准 | ||
| 价格 | 合理 | ||
| 可售卖地 | 全国 | ||
| 用途 | 广泛 | ||
Alicat MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器
简单升级老化的热式流量控制器
Alicat 艾里卡特MCE或MCV系列真空气体质量流量控制器是真空专用设备。MCE系列产品的特征如下：与我们标准质量流量控制器的控制响应速度一样快，外形包括1/4″ VCR焊接接头且能与SEMI标准气体质量流量控制器实现端对端的匹配连接。
Alicat MCV和MCE联系紧密，采用内置气动截止阀，适用于高真空应用。将空气管线连接到截止阀上，防止在设定点为零时出现污染情况。
多功能。监控流速的同时控制压力；可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER?气体编辑器确定自己的气体组成。
连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通讯选项，可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
耐用。MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
性能
可用量程：最大0-20 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常备量程，请参见零件编号标签）
可调比：200:1（MCE/MCV）或者100:1 （MCES/MCVS）
标准精度（NIST可溯源）：±（0.8读数 0.2满量程）
高精度（选配，NIST可溯源）：±（0.4读数 0.2满量程）
可重复性：0.2满量程
标准控制器响应时间常数：50-100ms（若有PID调节功能，可缩短至25ms）
气动阀漏气率（仅MCV系列）：1 x 10-9 atm scc/sec（最大值，氦气）
无需预热时间
工作条件
兼容气体：98种（MCE/MCV系列）或130种（MCES/MCVS系列）预置可选气体；利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
工作温度：-10°C至 60°C
最大内部压力（静态）：145 psig（160 psia）
耐受压力：175 psig（190 psia）
STP/NTP：用户可选（默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）
MCE或MCV系列包装清单：
MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器（电源需另行订购）
NIST可溯源校准证书
艾里卡特操作说明书
配件（需另行订购）
过程端口接头和过滤器
电源
通讯线缆和转换线缆
BB3和BB9多点式集线盒
Flow Vision软件
