产品详情
| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 光弛 | ||
| 重量 | 11200 | ||
| 真空室 | SUS304, φ1800mm×1920mm (H) | ||
| 工件架 | 1600 | ||
| 工件架转速 | 10rpm to 30rpm(可变) | ||
| 波长范围 | 350nm to 1100nm | ||
| 膜厚计 | XTC\/3 6 | ||
| 离子源 | 23cmRF | ||
| 达到压力 | 7.0×10-5?Pa 以下 | ||
| 排气时间 | 20分 | ||
| 基板温度 | 350℃ | ||
| 电源 | 3相, 200V, 50\/60Hz | ||
| 水流量 | 180升\/分以上 | ||
| 空气压力 | 0.5MPa以上 | ||
| 可售卖地 | 全国 | ||
| 型号 | OTFC-1800CBI\/DBI | ||






