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这是柱塞水泵的高压端。水平的是柱塞，垂直的是进水单向阀和出水单向阀。
后面还有一套驱动部分，也就是曲轴连杆没有画。
这个不是典型的液压领域的油泵，不能叫轴向柱塞泵，产品通常叫三柱塞
水泵或者柱塞式超高压水泵，当然也可以打油。
一：真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，
包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。
主要思路是分成蒸发和溅射两种。
二：真空镀膜机有三个泵的：机械泵（一般是油旋转泵），增压泵又叫罗茨泵
，高真空泵（扩散泵或者分子泵）
机械泵
是从大气开始工作的，机械泵排气的效果还与电机的转速及皮带的松紧度有关系，
当电机的皮带比较松，电机转速很慢的时候，机械泵的排气效果也会变差，
所以要经常保养，点检，机械泵油的密封效果也需要常常点检，油过少，
达不到密封效果，泵内会漏气，油过多，把吸气孔堵塞，无法吸气和排气，
一般，在油位在线下0.5厘米即可。
增压泵：
它是具有一对同步高速旋转的双叶形或多叶形转子的机械泵，
由于它的工作原理与罗茨鼓风机相同，所以又可以叫罗茨真空泵，
此泵在100-1帕压强范围内有较大的抽气速度，它弥补了机械泵在此范围内排气能力不足的缺点，
此泵不能从大气开始工作，也不能直接排出大气，它的作用仅仅是增加进气口和排气口之间的压差，
其余的则需要机械泵来完成，因此，它必须配以机械泵作为前级泵。
油扩散泵：机械泵的极限真空只有10-2帕，当达到10-1帕的时候，实际抽速只有理论的1/10，
如果要获得高真空的话，必须采用油扩散泵。
油扩散泵
应用压强范围是10-1帕-10-7帕，它是利用气体的扩散现象来排气的，
它具有结构简单，操作方便，抽速大（最高可以达到10+5升/秒）等特点。
油扩散泵主要由泵壳、喷嘴、导流管和加热器组成，里面主要添加扩散泵油（日本的型号是D-704#），
根据喷嘴的多少可以分为单级泵和多级泵。当扩散泵的油被电炉加热时，产生的油蒸汽提供前置压强，
机械泵充当前置泵。当扩散泵油被电炉加热时，产生的油蒸汽沿着导流管经伞形喷嘴向下喷出。
因喷嘴外面有机械泵提供的1-10-1帕的真空，故油蒸汽可喷出一段距离，
构成一个向出气口方向运动的射流。射流最后碰上由冷却水冷却的泵壁，凝结为液体，
流回蒸发器，即靠油的蒸发——喷射——凝结，重复循环来实现抽气的。
操作程序
真空镀膜机操作程序具体操作时请参照该设备说明书
和设备上仪表盘指针显示及各旋钮下的标注说明。
① 检查真空镀膜机各操作控制开关是否在"关"位置。
② 打开总电源开关，设备送电。
③ 低压阀拉出。开充气阀，听不到气流声后，启动升钟罩阀，钟罩升起。
④ 安装固定钨螺旋加热子。把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。
把铝丝穿放在螺旋加热子内。清理钟罩内各部位，保证无任何杂质污物。
⑤ 落下钟罩。
⑥ 启动抽真空机械泵。
⑦ 开复合真空计电源(复合真空计型号:Fzh-1A)。
a.左旋钮"1"顺时针旋转至指向2区段的加热位置。
b.低真空表"2"内指针顺时针移动，当指针移动至110mA时，左旋钮"1"旋转至指向2区段测量位置。
⑧ 当低真空表"2"内指针再次顺时针移动至6.7Pa时，低压阀推入。这时左旋钮"1"旋转至指向1区段测量位置。
⑨ 真空镀膜机开通冷却水，启动扩散泵，加热40min。
⑩ 低压阀拉出。重复一次⑦动作程序:左下旋钮"1"转至指向2区段测量位置。
低真空表"2"内指针顺时针移动，当指针移动至6.7Pa时，开高压阀(阀杆顺时针旋转)。
? 等低真空表"2"内指针右移动至0.1Pa时，开规管灯丝开关。
a. 发射、零点测量钮"9"旋转至指向发射位置。
b. 左下旋钮"1"旋转至指向1区段测量位置。
? 旋转发射调节钮"4"，使高压真空表"5"内指针指向5。
? 发射、零点、测量旋钮"9"旋转至指向零点位置。
? 旋转零点调节钮"10"，让高压真空表"5"内指针指向0位置。
? 发射、零点、测量旋钮"9"旋转至指向测量位置。
? 旋转标准调节钮"3"，让高压真空表"5"内指针指向10。
? 旋转"倍加器"开关钮"8"至指向10-12，当高压真空表"5"内指针逆时针左移超过1时，
再把"倍加器"开关旋钮"8"旋转至指向10-3。
? 当高压真空表"5"内指针逆时针移动超过6.7Pa时，开工件旋转钮开关，钟罩内被镀件PVDF膜转动。
? 开蒸发钮开关。把电流分插塞插入蒸发电极分配孔内(设有1、 2、 3、 4孔，可插入任意一孔)。
? 右手旋转右侧调压器手轮，慢慢旋转升压。
a. 从视镜窗口观察钨螺旋加热子的加热温度颜色变化情况。
b. 当钨螺旋加热子颜色变成黄橙色，铝丝开始熔化时，左手操作挡板钮，移开钨螺旋上方挡板。
c. 铝丝全部熔化蒸发，挡板回原位。
d. 右手旋转调压器手轮回零位。第一次蒸镀工作完成。
21. 如果再想蒸镀一次(为了增加电极金属层厚度):把电流分插塞拨出插入另一个电极分配孔
。重复?操作动作。
22. 关闭规管灯丝开关。关闭高压阀(逆时针转手柄)。关闭工件旋转。关闭蒸发。
旋转机械泵钮至指向扩散泵位置。
23. 低压阀拉出。钟罩充气。充气一段时间，当没有气.声时，升钟罩。
24. 钨螺旋加热子内加铝丝。PVDF薄膜调换另一面向下 (原下面已镀一层铝膜面向上)。紧固在转动圆盘上。
25. 落钟罩。开机械泵。
a. 左下旋钮"1"旋转至指向2区段测量位置。
b. 当低压真空表"2"内指针顺时针移动到6.7Pa时，低压阀推入。
c. 左下旋钮"1"旋转至指向1区段测量位置。
d. 当低压真空表"2"内指针顺时针移动到6.7Pa时，开高压阀。旋钮"1"旋转至指向2区段测量位置。
e. 当低压真空表"2"内指针顺时针移动到指向0.1Pa时，开规管灯丝。
f. 由?开始重复操作至? 。
26. PVDF薄膜蒸镀完铝层后，按顺序关闭规管灯丝、高压阀、机械泵、扩散泵。
把低压阀拉出。钟罩充气，充气完毕后升钟罩。取出工件，做好钟罩内清理工作。
a. 落下钟罩。
b. 开机械泵，抽3~5min，停机械泵。
c. 切断供电总开关。
d. 1h后再关闭冷却水。操作全部完成。
27. 正常生产中，如遇到突然停电时，要立即切断高真空测量，
关闭规管灯丝，高压阀、低压阀拉出。来电后，先让机械泵启动工作3~5min后，
再转入正常生产。它的原理是将扩散泵油加热至沸腾，气化的油雾通过喷油嘴向四周喷射，
扩散泵的四周有冷却水管或者水套，将喷射的油雾冷却液化流下至泵的底部循环。
如果上半部分热的话说明冷却不好，会向真空室返油，那就是不正常的现象了，
说明冷却不好，原因可能是水压不够或者水管内有阻塞。
变量柱塞泵压力补偿控制A
V8A1RX-20,V15A4RX-95,V15A3RX-95,V15A2RX-95,
V23A4RX-30,V23A3RX-30,V23A2RX-30,V23A1RX-30,
V38A4RX-95,V38A3RX-95,V38A2RX-95,V38A1RX-95,
V50A3RX-20,V50A2RX-20,V50A1RX-20,
V70A3RX-60,V70A2RX-60,V70A1RX-60,
变量柱塞泵复合压力控制D
V15D12RAX-95,V15D12RBX-95,V15D12RPX-95,V15D12RNX-95.
V23D12RAX-35,V23D12RBX-35,V23D12RPX-35,V23D12RNX-35.
V38D12RAX-95,V38D12RBX-95,V38D12RPX-95,V38D12RNX-95.
变量柱塞泵压力补偿控制A(后方油口)
V15A3R-95,V15A2R-95,V15A1R-95,V8A1R-20,
V23A3R-30,V23A2R-30,V23A1R-30,V23A4R-30,
V38A3R-95,V38A2R-95,V38A1R-95,V38A4R-95,
V50A3R-20,V50A2R-20,V50A1R-20,
V70A3R-60,V70A2R-60,V70A1R-60,
变量柱塞泵复合压力控制D(后方油口)
V15D12RA-95,V15D12RB-95,V15D12RP-95,V15D12RN-95.
V23D12RA-35,V23D12RB-35,V23D12RP-35,V23D12RN-35.
V38D12RA-95,V38D12RB-95,V38D12RP-95,V38D12RN-95.
DAIKIN大金柱塞泵VZ100系列的型号发布
VZ100A3RX-10 VZ100A4RX-10 VZ100A4RX-10RC VZ100C11RHX-10
VZ100C12RHX-10 VZ100C13RHX-10 VZ100C14RHX-10 VZ100C22RHX-10
VZ100C12RJAX-10 VZ100C12RJBX-10 VZ100C12RJPX-10 VZ100C13RJAX-10
VZ100C23RJAX-10 VZ100C23RJBX-10 VZ100C23RJPX-10 VZ100C24RJAX-10
VZ100C24RJBX-10 VZ100C24RJPX-10 VZ100C33RJAX-10 VZ100C33RJBX-10
VZ100C34RJPX-10 VZ100C44RJAX-10 VZ100C44RJBX-10 VZ100C44RJPX-10
PVS变量柱塞泵
PVS-0B-8N3-30,PVS-0B-8N2-30,PVS-0B-8N1-30,PVS-0B-8N0-30,
PVS-1B-16N3-12,PVS-1B-16N2-12,PVS-1B-16N1-12,PVS-1B-16N0-12,
PVS-1B-22N3-12,PVS-1B-22N2-12,PVS-1B-22N1-12,PVS-1B-22N0-12,
PVS-2B-35N3-12,PVS-2B-35N2-12,PVS-2B-35N1-12,PVS-2B-35N0-12,
PVS-2B-45N3-20,PVS-2B-45N2-12,PVS-2B-45N1-12,PVS-2B-45N0-12,
PZS变量柱塞泵
PZS-3B-70N4-10,PZS-3B-70N3-10,PZS-3B-70N1-10,
PZS-4B-100N4-10,PZS-4B-100N3-10,PZS-4B-100N1-10,
PZS-5B-130N4-10,PZS-5B-130N3-10,PZS-5B-130N1-10,
PZS-6B-180N4-10,PZS-6B-180N3-10,PZS-6B-180N1-10,
PZS-6B-220N4-10,PZS-6B-220N3-10,PZS-6B-220N1-10,
PZ负荷感应变量柱塞泵
PZ-2B-35E3A-11,PZ-2B-35E2A-11,PZ-2B-35E1A-11,
PZ-2B-45E3A-11,PZ-2B-45E2A-11,PZ-2B-45E1A-11,
PZ-3B-70E3A-10,PZ-3B-70E2A-10,PZ-3B-70E1A-10,
PZ-4B-100E3A-10,PZ-4B-100E2A-10,PZ-4B-100E1A-10,
PZ-5B-130E3A-10,PZ-5B-130E2A-10,PZ-5B-130E1A-10,
PZ-6B-180E3A-20,PZ-6B-180E2A-20,PZ-6B-180E1A-20,
PZ-6B-220E3A-20,PZ-6B-220E2A-20,PZ-6B-220E1A-20,
VDC叶片泵
VDC-1A-1A2-20,VDC-1A-1A3-20,VDC-1A-1A4-20,VDC-1A-1A5-20,
VDC-1A-2A2-20,VDC-1A-2A3-20,
VDC-2A-1A2-20,VDC-2A-1A3-20,VDC-2A-1A4-20,VDC-2A-1A5-20,
VDC-2A-2A2-20,VDC-2A-2A3-20,
VDC-3A-1A2-20,VDC-3A-1A3-20,VDC-3A-1A4-20,VDC-3A-1A5-20,
VDC-1B-1A2-20,VDC-1B-1A3-20,VDC-1B-1A4-20,VDC-1B-1A5-20,
VDC-1B-2A2-20,VDC-1B-2A3-20,
VDC-2B-1A2-20,VDC-2B-1A3-20,VDC-2B-1A4-20,VDC-2B-1A5-20,
VDC-2B-2A2-20,VDC-2B-2A3-20,
VDC-3B-1A2-20,VDC-3B-1A3-20,VDC-3B-1A4-20,VDC-3B-1A5-20,
VDC双联叶片泵
VDC-11A-2A3-2A3-20,VDC-11A-2A3-1A5-20,
VDC-12A-2A3-2A3-20,VDC-12A-2A3-1A5-20,
VDC-12A-1A5-2A3-20,VDC-12A-1A5-1A5-20,
VDC-22A-2A3-2A3-20,VDC-22A-2A3-1A5-20,
VDC-13A-2A3-1A3-20,VDC-13A-2A3-1A5-20,
VDC-13A-1A5-1A3-20,VDC-13A-1A5-1A5-20,
VDC-11B-2A3-2A3-20,VDC-11B-2A3-1A5-20,
VDC-12B-2A3-2A3-20,VDC-12B-2A3-1A5-20,
VDC-12B-1A5-2A3-20,VDC-12B-1A5-1A5-20,
VDC-22B-2A3-2A3-20,VDC-22B-2A3-1A5-20,
VDC-13B-2A3-1A3-20,VDC-13B-2A3-1A5-20,
VDC-13B-1A5-1A3-20,VDC-13B-1A5-1A5-20,
VDR（13）叶片泵
VDR-1A-1A1-13,VDR-1A-1A2-13,VDR-1A-1A3-13,
VDR-2A-1A1-13,VDR-2A-1A2-13,VDR-2A-1A3-13,
VDR-1B-1A1-13,VDR-1B-1A2-13,VDR-1B-1A3-13,
VDR-2B-1A1-13,VDR-2B-1A2-13,VDR-2B-1A3-13,
VDR（13）双联叶片泵
VDR-11A-1A1-1A1-13,VDR-11A-1A1-1A2-13,VDR-11A-1A1-1A3-13,
VDR-11A-1A2-1A2-13,VDR-11A-1A3-1A3-13,
VDR-11B-1A1-1A1-13,VDR-11B-1A1-1A2-13,VDR-11B-1A1-1A3-13,
VDR-11B-1A2-1A2-13,VDR-11B-1A3-1A3-13,
VDR（22）叶片泵
VDR-1A-1A2-22,VDR-1A-1A3-22,VDR-1A-1A4-22,VDR-1A-1A5-22,
VDR-1A-2A2-22,VDR-1A-2A3-22,
VDR-1B-1A2-22,VDR-1B-1A3-22,VDR-1B-1A4-22,VDR-1B-1A5-22,
VDR-1B-2A2-22,VDR-1B-2A3-22,
VDR（22）双联叶片泵
VDR-11A-1A2-1A2-22,VDR-11A-1A2-1A3-22,VDR-11A-1A3-1A3-22,
VDR-11A-2A2-2A2-22,VDR-11A-2A2-2A3-22,VDR-11A-2A3-2A3-22,
VDR-11B-1A2-1A2-22,VDR-11B-1A2-1A3-22,VDR-11B-1A3-1A3-22,
VDR-11B-2A2-2A2-22,VDR-11B-2A2-2A3-22,VDR-11B-2A3-2A3-22,
VDS叶片泵
VDS-0A-1A1-10,VDS-0A-1A2-10,VDS-0A-1A3-10,
VDS-0B-1A1-10,VDS-0B-1A2-10,VDS-0B-1A3-10,
IPH齿轮泵
IPH-2A-3.5-11,IPH-2A-5-11,IPH-2A-6.5-11,IPH-2A-8-11,
IPH-2B-3.5-11,IPH-2B-5-11,IPH-2B-6.5-11,IPH-2B-8-11,
IPH-3A-10-20,IPH-3A-13-20,IPH-3A-16-20,
IPH-3B-10-20,IPH-3B-13-20,IPH-3B-16-20,
IPH-4A-20-20,IPH-4A-25-20,IPH-4A-32-20,
IPH-4B-20-20,IPH-4B-25-20,IPH-4B-32-20,
IPH-5A-40-21,IPH-5A-50-21,IPH-5A-64-21,
IPH-5B-40-11,IPH-5B-50-11,IPH-5B-64-11,
IPH-6A-80-21,IPH-6A-100-21,IPH-6A-125-21,
IPH-6B-80-11,IPH-6B-100-11,IPH-6B-125-11,
IPH齿轮泵组合型
IPH-22B,IPH-23B,IPH-24B,IPH-25B,IPH-26B,
IPH-33B,IPH-34B,IPH-35B,IPH-36B,
IPH-44B,IPH-45B,IPH-46B,
IPH-55B,IPH-56B,
IPH-66B,
IPH-22B-3.5-3.5-11,IPH-22B-3.5-5-11,IPH-22B-3.5-6.5-11,IPH-22B-3.5-8-11,
IPH-22B-5-5-11,IPH-22B-5-6.5-11,IPH-22B-5-8-11,
IPH-22B-6.5-6.5-11,IPH-22B-6.5-8-11,
IPH-22B-8-8-11,
IPH-23B-3.5-10-11,IPH-23B-3.5-13-11,IPH-23B-3.5-16-11,
IPH-23B-5-10-11,IPH-23B-5-13-11,IPH-23B-5-16-11,
IPH-23B-6.5-10-11,IPH-23B-6.5-13-11,IPH-23B-6.5-16-11,
IPH-23B-8-10-11,IPH-23B-8-13-11,IPH-23B-8-16-11,
IPH-24B-3.5-20-11,IPH-24B-3.5-25-11,IPH-24B-3.5-32-11,
IPH-24B-5-20-11,IPH-24B-5-25-11,IPH-24B-5-32-11,
IPH-24B-6.5-20-11,IPH-24B-6.5-25-11,IPH-24B-6.5-32-11,
IPH-24B-8-20-11,IPH-24B-8-25-11,IPH-24B-8-32-11,
IPH-25B-3.5-40-11,IPH-25B-3.5-50-11,IPH-25B-3.5-64-11,
IPH-25B-5-40-11,IPH-25B-5-50-11,IPH-25B-5-64-11,
IPH-25B-6.5-40-11,IPH-25B-6.5-50-11,IPH-25B-6.5-64-11,
IPH-25B-8-40-11,IPH-25B-8-50-11,IPH-25B-8-64-11,
IPH-26B-3.5-80-11,IPH-26B-3.5-100-11,IPH-26B-3.5-125-11,
IPH-26B-5-80-11,IPH-26B-5-100-11,IPH-26B-5-125-11,
IPH-26B-6.5-80-11,IPH-26B-6.5-100-11,IPH-26B-6.5-125-11,
IPH-26B-8-80-11,IPH-26B-8-100-11,IPH-26B-8-125-11,
IPH-33B-10-10-11,IPH-33B-10-13-11,IPH-33B-10-16-11,
IPH-33B-13-13-11,IPH-33B-13-16-11,
IPH-33B-16-16-11,
IPH-34B-10-20-11,IPH-34B-10-25-11,IPH-34B-10-32-11,
IPH-34B-13-20-11,IPH-34B-13-25-11,IPH-34B-13-32-11,
IPH-34B-16-20-11,IPH-34B-16-25-11,IPH-34B-16-32-11,
IPH-35B-10-40-11,IPH-35B-10-50-11,IPH-35B-10-64-11,
IPH-35B-13-40-11,IPH-35B-13-50-11,IPH-35B-13-64-11,
IPH-35B-16-40-11,IPH-35B-16-50-11,IPH-35B-16-64-11,
IPH-36B-10-80-11,IPH-36B-10-100-11,IPH-36B-10-125-11,
IPH-36B-13-80-11,IPH-36B-13-100-11,IPH-36B-13-125-11,
IPH-36B-16-80-11,IPH-36B-16-100-11,IPH-36B-16-125-11,
IPH-44B-20-20-11,IPH-44B-20-25-11,IPH-44B-20-32-11,
IPH-44B-25-25-11,IPH-44B-25-32-11,
IPH-44B-32-32-11,
IPH-45B-20-40-11,IPH-45B-20-50-11,IPH-45B-20-64-11,
IPH-45B-25-40-11,IPH-45B-25-50-11,IPH-45B-25-64-11,
IPH-45B-32-40-11,IPH-45B-32-50-11,IPH-45B-32-64-11,
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