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地球的大气层形成初期是不含氧气的。原始大气是还原性的，充满了甲烷、氨等气体。
大气层氧气的出现源于两种作用，一个是非生物参与的水的光解，一个是生物参与的光合作用。
生物的光合作用对大气层的影响巨大。它造成了大气层由还原氛围向氧化氛围的转变。使得水光解产生的氢气能重新被氧化为水回到地球而不至于扩散到外层空间去，从而防止了地球上的水的流失。同时光合作用也加速了大气层氧气的积累，深刻地改变了地球上物种的代谢方式和体型。大气层含氧量在石炭纪的时候一度上升到了35%。氧气含量的增加造成了依赖于渗透方式输氧的昆虫在体型上的巨型化。在石炭纪曾出现过翼展2英尺半的巨蜻蜓。
氧（Oxygen），元素符号O，位于元素周期表第二周期ⅥA族。1774年英国科学家约瑟夫·普里斯特利（J.Joseph Priestley）用透镜把太阳光聚焦，发现一种能强烈帮助燃烧的气体。安托万-洛朗·拉瓦锡（Antoine-Laurent de Lavoisier）研究了此种气体，并正确解释了这种气体在燃烧中的作用。氧是地壳中最丰富、分布最广的元素，也是构成生物界与非生物界最重要的元素，在地壳的含量为48.6%。单质氧在大气中占20.9%。
