产品详情
应用于塑料制品、陶瓷、树脂、水晶玻璃制品、塑料餐具等、工艺品、塑料手机壳、电子产品、建材等行业。
该系列设备主要是使用直流（或中频）磁控溅射，可适应广泛镀膜靶材，如：铜、钛、铬、不绣钢、镍等金属材料，可以利用溅射工艺进行镀膜，可提高膜层的附着力、重复性、致密度、均匀度等特点。
主机控制采用可编程序控制器（plc）+触摸屏（hmi）组合电气控制系统。全自动控制，配置先进大功率磁控电源，恒流输出，克服靶中毒。
磁控溅射全自动镀膜设备技术参数说明：
该系列设备主要是使用直流（或中频）磁控溅射，可适应广泛镀膜靶材，如：铜、钛、铬、不绣钢、镍等金属材料，可以利用溅射工艺进行镀膜，可提高膜层的附着力、重复性、致密度、均匀度等特点。
主机控制采用可编程序控制器（plc）+触摸屏（hmi）组合电气控制系统。全自动控制，配置先进大功率磁控电源，恒流输出，克服靶中毒。
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磁控溅射全自动镀膜设备技术参数说明：
| 设备型号 | sj-1200 | sj1400 | sj-1600 | sj-1800 |
| 真空室尺寸 | 1200×1500 | 1400×1950 | 1600×2000 | 1800×2000 |
| 制膜种类 | 多功能金属膜、复合膜、透明导电膜、增返射膜、电磁屏蔽膜、装饰膜等 | |||
| 电源类型 | 直流磁控电源、中频磁控电源电源、高压离子轰击电源 | |||
| 圆柱靶 | 直流磁控靶、中频孪生靶、平面靶 | |||
| 真空室结构 | 立式双开门、立式单开门 | |||
| 真空系统 | 滑阀泵＋罗茨泵＋扩散泵＋维持泵 | |||
| 充气系统 | 质量流量控制仪（1-4路） | |||
| 极限真空 | 6×10－4pa（空载、净室） | |||
| 抽气时间 | 空载大气抽至5×10－3pa小于15分钟 | |||
| 工件旋转方式 | 6轴/8轴/9轴公自转/变频无级调速 | |||
| 控制方式 | 手动＋半自动＋全自动一体化/触摸屏＋plc | |||
| 备注 | 真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做 | |||
