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泰科诺ZHDS-400手套箱镀膜机

泰科诺ZHDS-400手套箱镀膜机

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  • 发货地址： 本地至全国
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  • 发布日期：2021-05-08
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最新发布

第8年

北京泰科诺科技有限公司

  • 企业地址：中国北京海淀区 北京市昌平区回龙观龙祥制版集团东厂区北院
  • 营业执照：未审核
  • 经营模式： 其他-生产型
  • 所在地区：北京 北京
  • 家家通积分：20分
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详细参数
品牌 规格型号 完善
编号 齐全 计量单位 1
付款方式 参考价格
价格单位 不限 供货量 不限
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产地 本地 发货地 本地至全国

产品详情

1.蒸发镀膜与手套箱环境有机融合，实现蒸镀、封装、测试等工艺无缝对接。 <\/p>

2.多组蒸发源，兼容有机与金属蒸镀，广泛用于OLED/PLED,钙钛矿薄膜等研究系统。 <\/p>

型号<\/span><\/strong> <\/p> <\/td>

ZHDS-400<\/span><\/strong> <\/p> <\/td> <\/tr>

真空腔室<\/span><\/strong> <\/p> <\/td>

L400×W400×H500<\/span>，前后开门结构，SUS304<\/span>不锈钢材质,<\/span><\/span> <\/p> <\/td> <\/tr>

真空系统<\/span><\/strong> <\/p> <\/td>

复合分子泵+<\/span>直联旋片泵，超高真空插板阀，“<\/span>两低一高”<\/span>数显复合真空计<\/span> <\/p> <\/td> <\/tr>

极限真空<\/span><\/strong> <\/p> <\/td>

优于6.0×10-5<\/sup>Pa(<\/span>如需获得更高的真空度可选择进口真空泵组)<\/span><\/span> <\/p> <\/td> <\/tr>

基片台<\/span><\/strong> <\/p> <\/td>

≤120mm<\/span>；基片台加热：室温～300℃<\/span>；基片台旋转及光控定位<\/span> <\/p> <\/td> <\/tr>

蒸发源<\/span><\/strong> <\/p> <\/td>

8<\/span>组蒸发源（舟式源或挂丝源，兼容有机材蒸发）                                     <\/span><\/span><\/span> <\/p> <\/td> <\/tr>

膜厚控制<\/span><\/strong> <\/p> <\/td>

掩膜及膜厚控制系统：定制掩膜机构<\/span> <\/p>

采用晶振膜厚仪在线监测、控制膜厚<\/span> <\/p> <\/td> <\/tr>

手套箱系统<\/span><\/strong> <\/p> <\/td>

手套箱箱体尺寸：大箱体L1800×W750×H900mm<\/span><\/span> <\/p>

箱体泄露率<0.05vol%/h<\/span>，标准环境箱体内水、氧指标<1ppm<\/span><\/span> <\/p> <\/td> <\/tr>

控制方式<\/span><\/strong> <\/p> <\/td>

镀膜系统采用手动按钮控制，手套箱系统采用PLC+<\/span>触摸屏控制<\/span> <\/p> <\/td> <\/tr>

报警及保护系统<\/span><\/strong> <\/p> <\/td>

对泵、电极等缺水，过流过压，断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；<\/span>完善的逻辑程序互锁保护系统<\/span> <\/p> <\/td> <\/tr> <\/tbody> <\/table>

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