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晶圆背抛/晶圆抛光GNX200BP

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上海衡鹏实业有限公司

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详细参数
品牌 OKAMOTO 规格型号 GNX200BP
编号 齐全 计量单位 1台
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价格单位 人民币 供货量 不限
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产品详情

晶圆背抛/晶圆抛光GNX200BP



晶圆背抛GNX200BP晶圆抛光Wafer Grinding概要:
GNX200BP晶圆研磨机是一款全自动的连续向下进给研磨机。晶圆由机械手通过机器进行处理,并装载/卸载臂。在最终研磨站之后,使用两个不同的站进行晶片清洁。卡盘转速,砂轮转速和砂轮主轴下降速度可以用来控制砂轮的产量,表面光洁度和砂轮寿命。两点制程量规测量系统控制磨削主轴1和2下的晶片厚度。三点磨削主轴角度调节机构用于轻松保持晶片轮廓(ttv);可选配电动调节装置。在研磨站完成后,晶片将自动转移到抛光单元。局部抛光单元消除了表面下的损坏,从而提高了晶片的芯片强度,并具有处理50微米最终厚度的能力。





了解更多:http://www.hapoin.com/Wafer_Grinding/gnx200bp.htm



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