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PDC200/210/510等离子清洗机
高频输出 300W（PDC200型）/500W（PDC210/510型）,电极尺寸 250×170mm（PDC200/210型）/410×170mm（PDC510型）适用于研究开发的小型等离子清洗机。
使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式高性能型号，调取数据简单，以电子材料为中心，可对应多种用途。
YAMATO雅马拓等离子清洗机 PDC200用途
▪CSP、BGA、COB基板的等离子清洗
▪去除有机膜和金属氧化膜
▪印刷电路基板的干式清洗
▪界面活性处理
▪LED封装
YAMATO雅马拓等离子清洗机 PDC200特征
▪DP模式（PDC510标配·PDC200/210选配）
▪RIE模式
▪均匀性高的电极构造
▪操作简单的触摸屏控制器
规格
型号
PDC200
PDC210
PDC510
等离子模式
RIE（DP模式选配）
RIE/DP
电极构造
平行平板（固定）
高频输出
Max300W
Max500W
频率
13.56MHz
控制·显示
液晶触摸屏
反应室尺寸
W400×D250×H150mm
W500×D300×H200mm
电极尺寸
W250×D170mm
W400×D200mm
反应室材质
铝
反应气体
2系统（Ar、O2）
填充气体
N2或干燥空气
反应气体流量控制
流量计
聚合控制器
真空泵
另行选配
油泵（约345L/分）标配
油泵（约500L/分）标配
气体导入口
反应气体2个、填充气体1个
外形尺寸
W540×D600×H600mm
W540×D600×H600mm
W700×D700×H1285mm
重量
约100kg
约105kg
约180kg
电源
单相 AC100V 10A
三相AC200V 6A
三相AC200V 8A
