产品详情
从样品表面改质到清洗的小型台式等离子清洗机
型号
PR200
PR300
PR301
模式
DP模式，桶型
控制部
高频输出
Max300W
频率
13.56MHz
同调方式
手动2轴同调方式
反应部
反应腔
耐热玻璃 Φ100×160mm
超硬质玻璃 Φ64×160mm×3室
耐热玻璃 Φ118×160mm
反应气体
1系统（氧气）流量计
控制
手动密闭阀
自动减压、自动密闭阀
配管材质
不锈钢、特氟龙、铜、铜合金
不锈钢、特氟龙
外形尺寸
W350×D400×H500mm
W438×D520×H556mm
W438×D520×H630mm
重量
约10kg
约36kg
约34kg
电源
AC100V 15A
AC100V 7A
YAMATO雅马拓等离子灰化机 PR200用途
● 高分子材料表面的官能基付与→粘合性、密着性提高。通 过氧化反应，在表面生成-OH，＞C=O，-COOH等官能 基（微量的水分及二氧化碳影响）。 同样在氮气等离子体中，氮原子被吸收在表面中，生 成-NH 2等官能基。
● 硅晶圆蚀刻。
● 材料表面改性（金属、聚合物、薄膜、陶瓷等）。
● 石棉预处理（膜过滤灰化）。
● 从电子设备到生化市场。
● 低温灰化（高分子材料、煤炭、食品等）。
● 使用玻璃和PDMS板粘贴PDMS芯片。
● 表面有机物去除
YAMATO雅马拓等离子灰化机 PR200特点
● RF为200 W的高性能输出类型（PR200）。
● 由于是尺寸紧凑的台式机，很小的位置都可以安装。
● 同步，自动调谐，操作简单（PR200）。
● 等离子体反应器（灰化设备）（PR200）。
● 同步、自动调谐（PR200）。
反应腔
［例］石棉分析前处理
规格
