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半导体真空设备气体流量控制器 ALICAT MCV气体质量流量控制器

数量(台) 价格
1 15800元/台
  • 供货总量: 电议
  • 最小起订: 1台
  • 发货地址: 北京
  • 付款方式: 面议
  • 发布日期:2022-06-27
  • 访问量:256
咨询电话:133-6689-3229
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详细参数
品牌 ALCAT 规格型号 MCV
编号 MCV-200SCCM-D 计量单位 1台
付款方式 面议 参考价格 15800
价格单位 人民币 供货量 不限
说明书,报价手册及驱动 暂无相关下载 其他资料下载 暂无相关下载
产地 美股 发货地 北京

产品详情

半导体真空设备气体流量控制器 ALICAT MCV气体质量流量控制器  MCV系列真空气体质量流量控制器是真空专用设备。MCE系列产品的特征如下:与我们标准质量流量控制器的控制响应速度一样快,外形包括1/4″ VCR焊接接头且能与SEMI标准气体质量流量控制器实现端对端的匹配连接。

MCV和MCE联系紧密,采用内置气动截止阀,适用于高真空应用。将空气管线连接到截止阀上,防止在设定点为零时出现污染情况。

  • 多功能。监控流速的同时控制压力;可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
  • 连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通讯选项,可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
  • 耐用。MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动

半导体真空设备气体流量控制器 ALICAT MCV气体质量流量控制器 

  • 可用量程:0-20 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,请参见零件编号标签)
  • 可调比:200:1(MCE/MCV)或者100:1 (MCES/MCVS)
  • 标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)
  • 高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程)
  • 可重复性:0.2%满量程
  • 标准控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms)
  • 气动阀漏气率(仅MCV系列):1 x 10-9 atm scc/sec(值,氦气)
  • 无需预热时间

工作条件

  • 兼容气体:98种(MCE/MCV系列)或130种(MCES/MCVS系列)预置可选气体;利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
  • 工作温度:-10°C至+60°C
  • 内部压力(静态):145 psig(160 psia)
  • 耐受压力:175 psig(190 psia)
  • STP/NTP:用户可选(默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP)

半导体真空设备气体流量控制器 ALICAT MCV气体质量流量控制器 MCV系列包装清单:



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