产品详情
542系列 高精度光栅式测微仪
LGH (0.01µm分辨力、0.005µm分辨力)
特点:
●在 10mm 的宽范围内实现了与激光干涉仪相同的 0.005μm 或 0.01μm 的高分辨力和高精度。
●紧凑性的机身使得装置本身小型化,不仅可以作为高精度零部件的测量以及高精度定位 · 控制装置长度测量的传感器,还适用于作为各种测量机的标准规。
●也具有低测力规格产品 :根据用途可以选择低测力规格,可以测量易变形工件和高性能胶片等。
●LGH 系列是与专用计数器的组合规格。
● 新型号采用光电式反射型线性编码器,在低价格下实现了0.01µm高分辨率,示值误差0.2µm,测量范围10mm的宽范围。
● 响应速度与以往产品相比提高了2.8倍(250mm/s⇒700mm/s),兼顾了高精度。
● 装配新开发的超高精度透射型线性编码器,实现0.005µm(5nm)的高分辨力。
● 在测量范围10mm的宽范围内实现了示值误差0.1µm。适用于标准规的校正·赋值,以及用于测量机的基准器。
日本三丰Mitutoyo高精度光栅式测微仪542-721DC
■ 附件(选件)
●测量台架: No.971750

●阻尼提升线缆: No.971753

●I/O输出接口: No.02ADB440

●SENSORPAK

●橡胶套管: No.238772 (542-715DC及542-720DC备用)
产品规格:
■ 产品图片:
■ 外观尺寸


