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德国PFELFFER普发涡轮分子真空泵ATH 2300 MT/2303 M
德国PFELFFER普发涡轮分子真空泵ATH 2300 MT/2303 M
德国PFELFFER普发涡轮分子真空泵ATH 2300 MT/2303 M
静音:低噪音和振动水平，非常适合半导体制造工艺和分析仪器中对振动敏感的应用
灵活:与多种前级泵兼容，MT 型号带集成加热系统，可满足要求严苛的化学条件，变频直流（DC）电机
几乎免维护:MT 型号采用磁悬浮轴承，无磨损部件，减少颗粒污染或残留物积聚
转速；31000 rpm
可调转速;15000 rmp 至标称转速
从开始启动到达到最终转速的 90% 所需要的时间，排放压力 < 0.1 mbar < 8 最小
调节器电源；200-240 V，50/60 Hz 单相
启动时的最大功耗;1000 W
额定功率（待机功率）；130 - 380 W
加热温度;75 °C
烘烤温度:120 °C
推荐冷却水流量；60 l/h
冷却水温度;15 - 40 °C
遥控器类型；Magpower
推荐前级泵：ADP/ADS
声压级（ISO 2151）（在额定转速下，距离设备 1 米处测量） < 47 dB(A)
额定转速下的振动水平：< 0.01 μm
尺寸（Ø x H）：312 x 354.1-398.1* mm
尺寸（Ø）：310 mm
重量（约）：60 kg
调节器重量（约）：8.7 kg
进气口：DN 200、DN 250
排气口;DN 40 ISO-KF
N₂ 吹扫法兰；DN 16 ISO-KF
不锈钢进气滤网（出厂设定） 是
允许的磁场强度（径向值）（在距离设备 10 厘米处） < 12 mT < 12 mT
机载控制器控制选项 Profibus，远程
