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合肥栗山销售GET CONTROL振动测试仪INT02001 FOUP
GET CONTROL振动测试仪INT02001 FOUP
GET CONTROL振动测试仪INT02001 FOUP
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GCl 的三轴加速度计测试工具为AMHS供应商和终端用户提
供了精确的振动测量解决方案。该工具(亦称为GCI振动测
试仪)最初的设计目的是用于测量手动运输过程中150mm
和 200mm晶圆所经历的振动水平。随着晶圆尺寸的增加，
该振动测试仪在分析300mm FOUP运输解决方案方面发挥
了重要作用。标准包装使Vib Tool(INT02001)能够安全地
安装在300 mm FOUP内。新型包装则使GCI振动测试仪(
INT02001-R)也可用于150mm网格运输分析的场合。
GCI振动工具提供两种记录模式:时域和板载数据降采样。对于这两种模式，
时间域数据在每个轴(X、Y和Z)上以512赫兹的频率进行采样。
时间域模式可将采样数据直接传输至内部闪存存储器。该模
式下的数据缩减过程需在PC上通过GCIVibPlot应用程序完
成，该程序可对时间域数据进行详尽的图形分析。
机载减幅模式利用数据缩减算法将时域振动数据转换为频域
、多点数据记录。以512 Hz的采样速率获取的时域数据经
转换(使用快速傅里叶变换和平均方法)后，可实时生成一
系列1/2秒的数据记录。转换后的数据被流式传输至内部闪
存存储器。在这种模式下，时域数据无法用于后续的缩减分
析。
