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MLase的现代紧凑型MLI准分子激光器是波长为193 nm或248 nm的紫外光源，脉冲能量高达16 mJ，脉冲重复频率高达1,000 Hz。
MLase LC准分子激光系统还能够进行主动水冷（使用家用水或外部热交换器;无纯化水），以实现稳定的连续运行。
MLase准分子激光器MLI-ARF 1000LC主要特点
工业设计，电晕预电离，固态电路，电子管技术，能源监测，紧凑型准分子激光器，单相
MLase准分子激光器MLI-ARF 1000LC优势
高可靠性低，100%占空比，均匀光束轮廓，即时可用，无老化，管全金属密封，延长数十亿脉冲的寿命，能量稳定，操作简便，易于集成，水冷却器
MLase MLI-ARF 1000LC技术参数
波长(nm) 193
脉冲重复频率(Hz) 1000
脉冲能量(mJ) 6
平均功率(w) 6.0
能源稳定性(西格玛，%) 2
光束宽度(VxH mm) 6x3
光束发散度(Vx H mrad) 2x1
脉冲持续时间(ns) 5-10
重量kg 80
冷却 水
电源 230V, 50/60Hz, 2000W
尺寸mm 560 x 355 x 445
MLase LC型号
MLI-ARF 500LC
MLI-ARF 1000LC
MLI-KrF 500LC
MLI-KrF 1000LC
