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二、性能优势
1）排气路径短，减少反应物沉积
独有的螺旋方式将多级转子直接串联，取消了中间隔板结构，无中间级吸排气过程，工作过程简单连续，效率高，泵运行稳定性高。干式螺杆真空泵相较于其他形式的真空泵，因气体于泵内的传输路径最短，最不易产生反应物沉积的现象。
2）线形密封性佳，接触磨损小
泵腔内各零部件采用间隙密封，零件间无接触摩擦存在，零件损耗小，寿命长；对少量小颗粒粉尘不敏感，且泵腔直通，粉尘不易在泵腔内沉积。采用防爆装置可用于抽除易燃易爆的气体。
3）工作腔洁净无油，无污染
工作腔内无油气污染被抽气体，工艺气体回收利用率高，尾气处理方便；同时也避免了油气和油烟等排放，环境污染小。避免了因润滑油乳化，变质而出现的运行故障，提高了系统的稳定性，同时减少了泵润滑油的损耗。
4）抽除可凝性气体，真空度高
泵壳单独使用，或者与罗茨泵，分子泵等组合成无油真空机组，作为机组前级泵使用。单泵进气压力在1pa至大气压力均能正常工作，抽气效率高。泵腔内工作温度达100℃以上，使可凝气不易冷凝，泵腔直通，排气口在泵腔底部，杂物容易排出，因此适宜抽取可凝性气体。
5）适用范围广
泵工作腔以及螺杆转子表面有防腐涂层（包含镀镍、哈氏合金、特氟龙等），可适应各种恶劣工况。
