产品详情
Partulab佰力博自主研发的CPS系列低温真空探针台是一款为晶片、器件和材料（薄膜、纳米、石墨烯、电子材料、超导材料、铁电材料等）提供真空和低温测试条件下进行非破坏性的电学表征和测量平台。CPS系列低温真空探针台可以对材料或器件进行电学特性测量、光电特性测量、参数测量、高阻测量、DC测量、RF测量和微波特性测量，广泛应用于半导体工业（芯片、晶圆片、封装器件）、MEMS、超导、电子学、物理学和材料学等领域。为了提高系统的实用性，系统还可以提供3.2K的温度扩展选件、振动隔离装置、LN2杜瓦、高放大倍数的显微镜、分子泵机组、热辐射屏的温度控制装置、探针臂的光纤电缆、光学样品架等选件。
技术规格
温度范围：10k-325k（10K GM制冷机），4.5K-325K（4K GM制冷机）；
高温选件温度范围：50k到500K；控温稳定性：+50mK；
降温时间：~3-4hours；
最大样品尺寸：直径50mm；
频率范围：测量DC到67Ghz；
真空环境：~10-5-10-6mbar；
XYZ位移平台形成与精度：X轴51mm，精度20μm；Y轴25mm，精度10μm；Z轴25mm，精度10μm；
顶部光学观察窗：标准2.0‘’（51mm）；
四个直流探针臂，最多可使用6个探针臂，每个探针臂上配有三个同轴接头及配套电缆。
标准配置：
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选购件：气动隔振台、阻尼隔振台、3.2K低温选件、高温选件、带充气增压杜瓦瓶、电动控制杜瓦瓶、泵管道隔震装置、无油压缩机、机械泵、分子泵机组等。
