产品详情
在高真空环境中，都存在有一定的残余气体。由于水分子量比氧气，氮气等空气主要成分的分子量都小，因此，无论是油扩散泵还是分子泵，都无法迅速，有效地将其抽出，故而越积越多，最后成为占残余气体65%~95%以上的剩余气体；同时，由于真空泵在使用过程中不可避免的会产生泵油蒸发现象，会有少量油蒸汽进入真空系统。
一 由于水蒸气和油蒸汽的存在，导致真空系统无法迅速达到客户使用所需的真空度，导致抽真空时间变长，生产效率下降，所需真空度越高，环境湿度越大，影响越明显。
二 同时，水蒸气，油蒸汽的存在，会导致膜层牢固度下降，无法多层镀膜，颜色不均一等。
三 水蒸气在某些条件下还会电离，产生氧气，使靶材氧化，导致镀膜颜色发生变化。环境湿度越大，温度越高，所需真空度越高，影响越大。
因此，水蒸气，油蒸汽是真空镀膜领域及高真空获得领域的主要危害气体。
北京天地精仪科技有限公司研发生产的-135℃深冷水汽捕集泵，采用单台压缩机、自动复叠制冷方式、进口名牌压缩机及制冷配件、环保混合型制冷剂生产，替代液氮，节约成本。具有制冷速度快、效率高、温度低、维护方便等特点，其性能指标在国内处于领先地位，达到甚至超过国际先进水平。
主要的性能特点
1、快速吸附水、油蒸汽、可缩短排气时间60-90%；
2、提高镀膜质量，防返油、不脱落、颜色纯正；
3、降温迅速，3分钟内制冷到-120℃，最低可到-150℃；
4、2分钟热气除霜，迅速回温，5分钟可再降温;
5、触摸屏+PLC=完善的自动化控制；
6、一台设备可设计两路负载输出；
7、进口压缩机，环保混合型制冷剂;
8、具有两路负载入口和出口温度显示、本机温度显示；
9、除霜温度自由设定；
10、具有水温温度、排气温度显示；
11、缺水、水温过高报警；
12、压缩机排气过高、压力过高保护；
13、可本地、远程控制自由转换；
14、RS485计算机数据接口，计算机可读取温度数据及控制。
技术参考表
|
型 号 |
TH-135-20A |
TH-135-32A |
TH-135-32AX |
TH-135-50A |
TH-135-50AX |
TH-135-80A |
|
压缩机功率(HP) |
9 |
14 |
14 |
18 |
18 |
28 |
|
工作电流（A） |
21 |
26.6 |
26.6 |
36.7 |
36.7 |
53 |
|
电源 |
380V,50HZ, |
|||||
|
工作温度（℃） |
-100~-150 |
|||||
|
抽气速度（l/s） |
149000 |
238400 |
238400 |
372500 |
280000 |
596000 |
|
最大制冷量（W） （-100℃） |
2100 |
2800 |
2800 |
3800 |
3800 |
6000 |
|
冷凝管长度 |
20m,φ16mm |
32m,φ16mm |
双路16mφ10mm |
50m,φ16mm |
双路14m,φ16mm |
60m,φ22mm |
|
冷凝管表面积（㎡） |
1 |
1.6 |
1 |
2.5 |
1.5 |
4 |
|
冷却方式 |
水冷，水温18℃~30℃，水压2bar~4bar |
|||||
|
冷水流量（t/h） |
1.8 |
2.5 |
2.5 |
3.2 |
3.2 |
6 |
|
冷水接口尺寸（mm） |
16 |
16 |
16 |
19 |
19 |
25 |
|
预冷时间（min） |
30 |
40 |
||||
|
降温时间(min) |
≤3 |
≤4 |
≤4 |
≤5 |
≤5 |
≤6 |
|
除霜时间(min) |
≤3 |
≤3 |
≤3 |
≤4 |
≤4 |
≤5 |
|
再降温(min) |
≤3 |
≤3 |
≤3 |
≤3 |
≤3 |
≤3 |
|
适用油扩散泵直径（mm） |
≤800 |
≤900 |
≤600 |
≤1000或2X600 |
≤800 |
≤600 |
|
适用腔体直径（mm） |
≤1300 |
≤1500 |
≤1000 |
≤1800 |
≤1500 |
≤1200 |
|
需要冷水机功率（HP） |
7 |
8 |
8 |
10 |
10 |
15 |
