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深圳华科智源科技有限公司提供专业的ITC57300动态参数测试仪，雪崩能量测试仪，测试开关时间，反向恢复时间，栅电荷等参数。Trr（反向恢复时间）和Qrr（反向恢复电荷）的测试尤在开关性能测试中至关重要，在半导体器件测试中有着重要的地位。深圳市华科智源科技有限公司技术部同事从测试原理以及实际测试情况进行案例分析。
测试链路图
实测电流波形
1.测试原理
测试链路（如下图）主要由DRIVER管和待测管DUT组成，在外加电压的情况下，信号输送部分发出的双脉冲经过驱动电路放大驱动功率送到DRIVER管，当第一个脉冲到DRIVER管时，DRIVER管导通，电感开始充电。第一个脉冲过去后，DRIVER管关断，电感放电，电流由DUT管的源极极流向漏极，与电感形成回路。此段时间为第二个脉冲和第一个脉冲之间的延时时间。根据不同的测试器件，调节延时时间，使电流下降的斜率达到100A/uS ，也就是测试条件里面的di/dt=100A/uS。当第二个脉冲到来时，DRIVER管导通，电感重新开始充电。DUT管内二极管两端由正向偏置转换为反向偏置，该二极管不能立即关断，需要经过暂短的时间才能获得反向阻断能力，因为正向导通时在PN结两侧储存的大量少子需要被清除掉以达到反向偏置稳态，所以DUT管在关断前有较大的反向电流，并伴随有明显的反向电压过冲。
测试链路图
2.测试波形及数据：
用ITC57300动态参数测试仪测得的电流波形及实测数据为：
实测电流波形
实测数据
通过与以下该产品官方datasheet比较，发现测试值与typ.值非常接近。
备注：Trr: 反向恢复时间；Qrr：反向恢复电荷
深圳华科智源科技有限公司提供专业的ITC57300动态参数测试仪，雪崩能量测试仪，测试开关时间，反向恢复时间，栅电荷等参数。
