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FFU是FAN FILTER UNIT的缩写，中文称作“风机过滤器单元”，也就是将风机和过滤器组合在一起构成自身能提供动力的末端净化设备。早在上个世纪六十年代，美国新墨西哥州Sandia国家实验室的科学家们利用HEPA过滤的方法研制成功了层流技术，其后商用FFU陆续在美国一些手术室及工业厂房得到广泛的应用。但直到1984年，在亚洲才出现大规模应用FFU的事例（大约有5000台）。是什么原因导致FFU在这么长的时间没有得到广泛的发展呢？有三个问题占主导地位：噪声较大问题；压力平衡问题，在很大的静压箱里，各不同角落的风机是否能得到均衡的压力，这在当时也是不能够得到保证的；维护问题，FFU本身造价就比较高，如果它的电机寿命不能保证的话，更换又会带来附加投资。这些都是造成当时的企业不选择使用FFU的主要原因。
但是这一切，在1984年都发生了改变。首先是噪声问题得到了控制，大规模的FFU洁净厂房都可以把噪声控制在65dBA以下，这符合工业厂房的标准。其次随着自动控制的发展，监测和调节各个角落的静压也变得容易起来。最后电机的寿命随着技术的提高也得到了质的飞跃。
现在，随着半导体电子技术的发展，越来越密集的集成电路也要求着越来越高的洁净等级。这给大规划应用FFU带来契机，而FFU系统本身也有着其独特的优势，主要包括以下几点：
FFU技术说明 FFU说明书 FFU的作用特点:
1．灵活性。因为FFU是自带动力的，它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里，可根据需要，分区控制。而且，随着半导体生产工艺的变化，厂房布局必然要作相应调整，FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松，而且不会带来二次投资。
2．可再利用性。从理论上讲，一时不用的FFU设备，可以拆下来，密封好，妥善保管，留待下次使用。
3．负压通风。这是FFU的独特特点。由于它本身能够提供静压，使得送风静压箱相对于洁静厂房负压。这样，静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里，使得密封变得很简单而且安全。
4、缩短建设周期。使用FFU省掉了风管的制作和安装，因为风管在洁净工程中，占掉很大的建设周期，任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益，选用FFU成为了一种可能。
5、减少运行成本。虽然在选用FFU时，初期投资要比使用风管通风高，但它在后期运行中，突出的表现出节能、免维护等特点。
6．节约空间。相比较RCU+HEPA系统，FFU+DCC+MAU系统占用送风静压箱内较少层高，且基本不占用洁净室内空间。而RCU不论是吊挂在天板上方还是设置在洁净室，均占用不少空间。
