产品详情
HWGK0133X-18紫外线光刻箱，配备电子电源，无级调光，主要用于光刻胶测试，中小规模集成电路、半导体元器件、光电子器件、声表面波器件、薄膜电路、电力电子器件的研制和小批量生产测试。无紫外线泄露，可以好的保护人体不受紫外线伤害的UV光刻箱，自动旋转托盘，多角度平行光照射，无照射盲区。
设备组成
UV光源+光刻箱+自动转盘+电源控制器
采用模块型设计
采用模块型设计，可手持、固定、箱式使用。
UV灯头
包含一个长寿命的高压汞灯，发射出UVA（300-400nm），主光强度分布均匀。灯泡寿命为1000小时。
UV光刻箱
设备包含光刻箱，带有箱门，开关方便，在元件的光刻过程中，能够保护用户免受紫外辐射。
内置遮光型手动快门（工作时无紫外线泄露）
设备集成可伸缩遮光型手动快门，确保光刻的优良重复性，保护用户开关光刻箱门时免受紫外辐射。
可调速自动旋转托盘
设备集成可调速自动旋转托盘，光刻效果更好,更彻底。
无级变光(光强可调）
灯管发光强度可以40%~100%，无级调节灯光强度，特别适合科研和工业生产。
反光内壁
光刻箱内有反光的内壁结构以及优化设计的反光镜，可保证达到均匀照射效果。
强制风冷系统
光源、电源、光刻箱都集成冷却风扇，使得系统在散热良好的环境工作，增加了系统可靠性。
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类别 |
项 目 |
参 数 |
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尺寸 |
外型尺寸（L×W×H） |
615×415×615mm |
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光刻箱内（L×W×H） |
330×345×330mm |
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灯管 |
灯管名称 |
高压汞灯 |
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功率 |
450~1700W 无级调光 |
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极限功率密度 |
<250mw/cm2 |
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波峰值 |
365nm |
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曝光面积： |
≥φ150mm |
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旋转托盘 |
功率 |
10W |
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低速度 |
1圈/分钟 |
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高速度 |
6圈/分钟 |
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箱内托盘 |
360度旋转，速度可调 |
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电源 |
电源需求 |
220V |
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整机功率 |
1800W |
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重量 |
光刻箱体 |
29KG |
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电源箱 |
4KG |
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灯箱 |
5KG |
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总重量 |
38KG |
