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NEW COSMOS新宇宙 气体探测器PS-7
NEW COSMOS新宇宙 气体探测器PS-7
NEW COSMOS新宇宙 气体探测器PS-7
更多详情咨询:13024103468 刘经理
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带传感器单元更换型的固定式半导体材料气体检测仪
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交付校准后的传感器单元,可随时更换,无需现场气体校准
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支持 NF3 检测
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兼容 Modbus (RS-485/Ethernet) (PS-7-M) * 以太网通信支持 PoE
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符合 CE 和 SEMI 标准
用途
检测半导体工厂中的半导体材料气体泄漏。目标气体 半导体材料:气体、氢气、氧气。检测原理 半导体材料气体:恒电位电解型,氢气:热线半导体型,氧气:原电池型。气体采样方法自动抽吸。



