产品详情
Turbo-V 1K-G 不仅是一台泵。该装置是专门为薄膜沉积设备精心设计的专用分子泵系统。其叶片级数和泵的整体结构均经过优化,可以在高流速的氩气氛围下和温度极高的环境中工作。另外,可通过远程机架控制器或泵机一体式控制器来驱动泵。所有这些特点使安捷伦 Turbo-V 1K-G 成为了镀膜工业的最佳真空解决方案。
特性
1、为薄膜沉积应用而专门设计的分子泵解决方案
2、极快的抽速和高气体通量
3、耐用型的设计和高效运行的冷却系统,可实现连续运行
4、能够保护轴承的气体吹扫
5、机架式 Navigator 控制器的样品架类型
6、通用电子器件接口和操作简单的控制软件
7、模拟 I/O 信号和 RS232/RS485 接口(为标准Agilent Profibus 接口选项)
涡轮分子泵应用范例
安捷伦涡轮分子泵包括集成泵组和多流路泵,其设计旨在实际应用中达到最佳性能。泵的紧凑型设计满足工业中的严苛空间要求。涡旋分子泵几乎不需要维护,并可避免错误使用。无论您是终端用户还是原始设备制造商,安捷伦均可针对您的应用为您提供帮助和支持,或定制适合您的需求的系统。

