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德国ADL GG03.1电源应用于微电子、光学和传感器
DL GG03.1电源应用于微电子、光学和传感器
ADL 离子源电源
对于离子源（Kaufmann 和 ECR）的作，可以使用特殊电源。根据要求，这些装置还可以配备其他输出电压或输出功率。所有电源均具有 AS 4 接口、Profibus、EtherCat 或 RS232/484 接口。
ADL 突出
在离子束和等离子体工艺技术中的广泛应用
蚀刻、溅射等等
ADL 创新创新应用，例如微电子、光学和传感器
ADL GG 03.1加速器
ADL输出功率30W
ADL输出电压最大1000 V
ADL输出电流300\mA
ADL功率消耗100 VA
ADL指示
电流和电压的31/2位数字显示
ADL控制
电流或电压控制
ADL操作模式
通过前面板或外部控制接口手动
ADL
设定值
0...100%的额定值电流和电压
输出精度
电流或电压的标称值的+/-1%
ADL冷却系统
空气冷却
内置风扇，最大环境温度40℃
风扇噪音排放
噪音水平<70 分贝(A)
ADL机械数据
尺寸
宽度:218毫米(1/219英寸)，高度:132.5毫米(3HU)，长度560
重量(不含包装)
11千克
控制插座X3-接口AS4
这个25针Sub.-D-插座是所有信号接口，用于远程开关机、选择工作模式、
输入设定值以及监测电流、电压和功率的实际值。
ADL控制输入:
控制输入通过光耦合器或继电器(联锁和SV.-Ext.)提供，从而实现电气隔
离。为了设置一个功能，将+24V的电压施加到相应的控制输入。该电压始
终参考引脚21(数字Gnd)。如果无法获得外部的+24V控制电压，可以将
引脚21(数字GND)连接到引脚25(GND)，并将相应的输入连接到引脚
14 (+24V)。
德国ADL GG03.1电源应用于微电子、光学和传感器
