主营产品：实验室仪器设备，半导体封测设备
15021401934（销售）
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| 详细参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | Diener | 型号 | FEMTO |
| 类型 | 等离子清洗机 | 用途 | 其他 |
| 加工定制 | 是 | 清洗方式 | 等离子干法清洗 |
| 动力 | 发生器 | 电源 | 220V |
| 功率 | 100W,300W | 外形尺寸 | W310,D420,H330mm |
| 原理 | 等离子 | 工作频率 | 13.56MHz,40KHz,100khz |
| 工作电压 | 220V | 规格 | 2.2L |
| 输出功率 | 300W | 外形尺寸 | W310,D420,H330mm |
| 重量 | 45KG | 产地 | 德国 |
等离子清洗机FEMTO
等离子工艺除清洗与活化外，还具有蚀刻与涂层
的功能。可以应用于多种领域。
l 硅蚀刻
l PTFE蚀刻
l 去除光刻胶
l 提高耐温塑料对于涂料和粘结剂的附着性
l 疏水层的沉积
l 亲水层的沉积
l 保护或绝缘层的沉积
l 防扩散层
主要技术参数：
1. 全自动控制
2. *根据工艺要求不同，可设定功率、压强、气体流量，时间等参数
3. 单路工作气体，气体流量通MFC流量计控制
4. 反应舱为不锈钢，Ø100 mm*L278mm，容积约为2.2L
5. 射频频率13.56MHz,功率0~100W
6. 电极材质为铝/不锈钢
7. 运行模式为手动
8. 真空泵的排气能力为4m3/Hour，配有强制进气阀
9. *配有压力传感器，可根据工艺要求设定压力值
10. 外尺寸：W310*D420*H330mm
11. 电源电压：单相AC230V 16A
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