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骨架:不锈钢骨架,外包 3mmPP 板防腐焊接而成; l 外壳:德国进口 10mm 瓷白 PP 板热焊接而成; l 防护门:正面操作侧采用透明上下推拉门; l 管路:管路位于机台下后部,以节省空间,采用英制接口; l 药液回收区位于设备左后下部; l 设备 2# 与 3# 处有活动推拉挡板; l 排风:根据流体学原理设计位于机台后上部,并配有导流和风量调节装置; l 工作照明:机台上方配照明(与工作区隔离); l DI/N2 GUN :可伸缩的 N2 Gun 和 DI 水枪各把,置于右侧; l 台面板为德国 10mm PP 板(带有漏液孔); l 人机界面: Touch Screen 彩**面; l 支脚:有滑轮装置和固定装置,可调整高度和锁定;
PLC 可程式控制器(欧姆龙)+ Touch Screen 彩色人机界面操作。 l 制程参数皆采用可设定、修改、记忆制程模式; l 操作模式可分为自动 / 手动 / 编辑 / 维修。 l 配有独立配电箱,电路区进行功能分块,强电、弱电块,以便于维护; l 具 Password 功能以避免操作人员误改参数: Password-1. 启动及可进入自动模式內容。 Password-2 可进入手动模式。 Password-3 可进入编辑模式修改制程参数。
设备采用耐腐蚀导线并通过 PE 管进行保护,防腐防水; l 设有防漏电断路保护装置; l 电控部分正压空体保护,防水防腐; l 设备有可靠的接地装置及紧急关机和报警系统; l 药液回收区配有独立抽风,和底部滑动滚轮,便于拿放回收桶; l EMO 装置紧急按钮开关; l 蜂鸣器声鸣提示工作完成,三色灯及蜂鸣声光故障报警; l 机台底部设有防漏盘及漏液感知; l 液位异常感知 / 安全液位保护; l 配有加熱保护;

