主营产品：上海谐波减速机|哈默纳科|harmonic|NIKUNI|山洋
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| 详细参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | HarmonicDrive | 型号 | SHD-40-100-2SH |
| 类型 | 摆线针轮减速器 | 载荷状态 | 强冲击载荷 |
| 传动比级数 | 双级 | 轴的相对位置 | 卧式减速器 |
| 传动布置形式 | 同轴式 | 加工定制 | 是 |
| 样品或现货 | 现货 | 齿面硬度 | 软齿面 |
| 布局形式 | 三环式 | 用途 | 变速机 |
| 输入转速 | 3000rpm | 额定功率 | 360kw |
| 输出转速范围 | 50rpm | 许用扭矩 | 691N.m |
| 使用范围 | 化工 | 减速比 | 543 |
| 产地 | 日本 | ||
.光刻技术及设备的发展
从图2.25所示的光学曝光随集成电路最小尺寸的演变图我们可以看出，日本HD光学设备谐波SHD-40-100-2SH从上世纪80年代到本世纪初，光学曝光是主要的光刻方法，日本HD光学设备谐波SHD-40-100-2SH光学曝光使用深紫外光。从20世纪80年代初的3mm集成电路到2004年90nm的集成电路的发展，光学曝光光源使用汞灯，波长从G线（436nm）、I线（365nm），再到使用准分子激光光源，波长为248nm和193nm。过去的十年中产业界利用大数值孔径和浸没式曝光技术，以及离轴照明技术(Off Axis illumination,OAI)、空间滤波技术、日本HD光学设备谐波SHD-40-100-2SH相位移掩模（Phase Shift Mask, PSM）、光学临近效应校正技术等光学曝光分辨率增强技术，使用193nm的深紫外光将集成电路最小尺寸做到了22nm。
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