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ULVAC（爱发科）真空泵在光伏太阳能电池行业的详细应用
1. 光伏太阳能电池制造中的关键真空工艺
ULVAC真空泵广泛应用于光伏（太阳能电池）生产中的多个关键制程环节，主要包括：
- 薄膜沉积（PVD/CVD）：用于非晶硅、碲化镉（CdTe）、铜铟镓硒（CIGS）及钙钛矿太阳能电池的镀膜。
- 真空层压：在组件封装过程中去除气泡，提高组件耐久性。
- 真空干燥：用于电极（如PERC电池）的快速干燥处理。
- 真空输送：硅料或靶材的无尘传输，减少污染。
2. ULVAC真空泵的技术优势
- 耐粉尘与腐蚀：光伏镀膜工艺可能产生颗粒或化学副产物，ULVAC干式泵（如螺杆泵、涡旋泵）可避免油污染，延长使用寿命。
- 高抽速与稳定性：确保大面积均匀镀膜（如CIGS电池的GIGS吸收层）。
-节能高效：低能耗设计降低生产成本，符合光伏行业降本需求。
3. 典型应用案例
- 钙钛矿太阳能电池：在真空蒸镀钙钛矿层时，ULVAC分子泵提供超高真空环境（≤10⁻⁶ Pa），提高转换效率。
- HJT（异质结）电池：PECVD沉积非晶硅层需高洁净真空，ULVAC干泵+罗茨泵组合保障无碳氢污染。
- TOPCon电池：LPCVD（低压化学气相沉积）制备多晶硅钝化层时，真空泵维持稳定低压环境。
4. 行业趋势与ULVAC的适配性
- 大尺寸硅片（210mm+）：需要更高抽速的真空系统以匹配更大反应腔体。
如需具体型号（如ULVAC Dry Pump DA/DR系列）或某工艺的详细参数，可进一步探讨！
1. 光伏太阳能电池制造中的关键真空工艺
ULVAC真空泵广泛应用于光伏（太阳能电池）生产中的多个关键制程环节，主要包括：
- 薄膜沉积（PVD/CVD）：用于非晶硅、碲化镉（CdTe）、铜铟镓硒（CIGS）及钙钛矿太阳能电池的镀膜。
- 真空层压：在组件封装过程中去除气泡，提高组件耐久性。
- 真空干燥：用于电极（如PERC电池）的快速干燥处理。
- 真空输送：硅料或靶材的无尘传输，减少污染。
2. ULVAC真空泵的技术优势
- 耐粉尘与腐蚀：光伏镀膜工艺可能产生颗粒或化学副产物，ULVAC干式泵（如螺杆泵、涡旋泵）可避免油污染，延长使用寿命。
- 高抽速与稳定性：确保大面积均匀镀膜（如CIGS电池的GIGS吸收层）。
-节能高效：低能耗设计降低生产成本，符合光伏行业降本需求。
3. 典型应用案例
- 钙钛矿太阳能电池：在真空蒸镀钙钛矿层时，ULVAC分子泵提供超高真空环境（≤10⁻⁶ Pa），提高转换效率。
- HJT（异质结）电池：PECVD沉积非晶硅层需高洁净真空，ULVAC干泵+罗茨泵组合保障无碳氢污染。
- TOPCon电池：LPCVD（低压化学气相沉积）制备多晶硅钝化层时，真空泵维持稳定低压环境。
4. 行业趋势与ULVAC的适配性
- 大尺寸硅片（210mm+）：需要更高抽速的真空系统以匹配更大反应腔体。
- 绿色制造：干式泵减少油污染，助力光伏行业可持续发展。
如需具体型号（如ULVAC Dry Pump DA/DR系列）或某工艺的详细参数，可进一步探讨！
