产品详情
CKD喜开理 方向控制阀 MV3QR
负压切换单元
型号
MV3QR
是充分发挥3QR系列的小型、大流量、高响应特点，不使用真空破坏阀的真空吸附单元。有自复位型和自保持型。
行业
安装
【无需真空破坏阀】
通过无正压的真空脱离，无需采取措施防止极小芯片被吹走。
无需繁琐地调整破坏压力、流量及定时。
不使用真空破坏阀，实现了精简化。
【占用空间最小化】
与以往的带破坏单元相比，安装面积减少44％，重量减少53%，最适用于制造装置的小型化。
即使在极小空间也可安装，装置设计的自由度更高。
通过轻量化，便于安装在装置可动部。
【可配备压力传感器】
单元中配备真空用压力传感器，外形更小巧。
负压检测也实现省空间。
采用U形卡销固定压力传感器，提高可维护性。
【可安装真空用过滤器】
配管过程中无需安装过滤器。
真空用过滤器采用快插式更换。
负压切换单元
型号
MV3QR
是充分发挥3QR系列的小型、大流量、高响应特点，不使用真空破坏阀的真空吸附单元。有自复位型和自保持型。
行业
安装
【无需真空破坏阀】
通过无正压的真空脱离，无需采取措施防止极小芯片被吹走。
无需繁琐地调整破坏压力、流量及定时。
不使用真空破坏阀，实现了精简化。
【占用空间最小化】
与以往的带破坏单元相比，安装面积减少44％，重量减少53%，最适用于制造装置的小型化。
即使在极小空间也可安装，装置设计的自由度更高。
通过轻量化，便于安装在装置可动部。
【可配备压力传感器】
单元中配备真空用压力传感器，外形更小巧。
负压检测也实现省空间。
采用U形卡销固定压力传感器，提高可维护性。
【可安装真空用过滤器】
配管过程中无需安装过滤器。
真空用过滤器采用快插式更换。
