产品详情
三、 技术指标：
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真空吸盘尺寸： |
Ø200mm |
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吸盘转速（连续可调）: |
0-300rpm/min |
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吸盘电机功率: |
2.2KW 380V 3相 |
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光栅控制系统： |
分辨率0.0005mm |
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磨轮转速（可调): |
0-3000rpm/min |
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磨轮马达功率: |
5.5kw |
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产品减薄后平行度： |
≦3um |
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磨轮最小设定步距： |
0.1um/s |
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水箱尺寸 |
780*480*550mm |
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外形尺寸： |
1010*1210*2070mm |
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重量： |
1200KG |
四、安装环境：
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序号 |
项目 |
指标要求 |
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1 |
环境 |
室内地面平坦、无振动源 |
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2 |
水源 |
纯水或自来水 |
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3 |
电源 |
三相五线 380V |
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4 |
压缩气源 |
0.5～0.8Mpa 消费量 50L/min 气压接线口径：φ8 |
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5 |
排水 |
循环使用 |
