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高频感应加热电源主要由逆变器、谐振单元、变压器和感应器组成。其中逆变器是一个交－直－交的变流器，将工频交流电能变换成为几千至几百千赫兹的中频或高频电能。谐振单元和变压器一端连接逆变器，另一端连接感应器，将高压变成隔离的低压并进行阻抗匹配。加热时，感应器中流过强大的高频电流，在导体内产生感应电流，因此导体迅速被加热。高频感应加热电源的谐振频率根据被加热对象和工艺的不同而不同，一般从一千至几十千赫兹最为常用。
逆变器所需的中频和高频逆变器件决定了装置的形式，它经历了从电子管、晶闸管到目前普遍采用 igbt 的发展历程。早期的感应加热设备以大功率真空电子管为核心构成单级自激振荡器，把高压直流电能转换成高频交流电能，由于电压变换环节较多、电子管转换效率低，设备的总体效率一般在50％以下，水和电能的消耗非常大。与电子管设备相比，晶闸管式感应加热设备的效率大为提高，达到85％左右，但其谐振频率较低、逆变换流部分相当复杂、损耗仍然较大。而采用 igbt 或 mosfet 的感应加热设备总体效率在 90％以上，谐振频率可达数百千赫兹，且结构大为简化，设备可靠性、功率因数等其它品质均得以提高。
