产品详情
| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 型号 | ET1260-FF | ||
| 刻蚀最小线宽 | <10 um(最大可以去除95%以上的氧化物镀层) | ||
| 激光器 | 飞秒、皮秒、纳秒激光器,波长1030nm/532nm/1064nm | ||
| 整机精度 | ±15μm | ||
| 加工幅面 | 1200*600mm/600*500mm/500*400mm(可定制加工幅面) | ||
| 最小线间距 | <10μm | ||
| 聚焦光斑 | <10 um | ||
| 工作台定位精度 | ±2um | ||
| 激光器频率调节范围 | 20-5000KHz | ||
| 工作台重复精度 | ±1um | ||
| CCD自动定位精度 | ±2um | ||
| 刻蚀速度 | <4000mm/s | ||
| 设备尺寸 | 1950mmL×1700mmW×1960mmH(根据实际尺寸而定) | ||
| 设备重量 | 3500kg | ||
| 功率消耗 | <3000W | ||
| 可处理文件格式 | 标准CAD2004版DXF文件 | ||
| 品牌 | 元禄光电 | ||
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