产品详情
| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 是否支持加工定制 | 是 | ||
| 型号 | FD300QA | ||
| 真空吸盘尺寸 | 300mm | ||
| 最大加工尺寸 | 300mm | ||
| 工件载盘转速(连续可调) | 0-300rpm/min | ||
| 砂轮尺寸 | 300mm(12寸) | ||
| 砂轮转速(可调) | 100-3000rpm/min | ||
| 砂轮主轴功率 | 7.5 kw | ||
| 产品加工厚度误差 | ≤±0.001mm(Φ100mm) | ||
| 产品加工平面度 | ≤0.001mm(Φ100mm) | ||
| 产品最小减薄厚度 | ≥0.07mm(Φ100mm) | ||
| 粗糙度 | Ra≤0.2 | ||
| 进给重复定位精度 | 0.001mm | ||
| 进给最小设定步距 | 0.001mm/s | ||
| 真空负压 | 20-90Kpa | ||
| 光栅控制系统分辨率 | 0.0001mm | ||
| 磨削方式 | 晶圆旋转,轴向切入式进给磨削(in-Feed) | ||
| 减薄形式 | 单轴单工位旋转工作台 | ||
| 操作方式 | 半自动磨削方式(人工上下料) | ||
| 设备外形尺寸 | 1200*1250*2100mm | ||
| 重量 | 2350KG | ||
| 品牌 | 方达 | ||










