| 产品参数 |
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| 品牌 | 元禄光电 |
| 刻蚀最小线宽 | ＜10 um（最大可以去除95以上的氧化物镀层） |
| 激光器 | 纳秒绿光532nm、皮秒绿光532nm、皮秒紫外355nm、飞秒红外1030nm、飞秒绿光515nm、实验室刻蚀机1064\/532nm |
| 整机精度 | ±15μm |
| 加工幅面 | 100*100\/200*200\/300*300\/400*300\/600*600\/600*900\/700*1400mm可选 可定制加工幅面 |
| 最小线宽 | ＜30μm\/＜10μm\/＜50um 最大可根据需要可全部去除镀层材料，如P4清边处理 |
| 聚焦光斑 | ＜30μm\/＜10μm\/＜50um |
| 工作台定位精度 | ±3um\/±20μm |
| 工作台重复精度 | ±1um\/±20μm |
| CCD自动定位精度 | ±3um\/±10μm |
| 刻蚀速度 | 最大刻蚀速度4000mm\/s（单线） |
| 设备尺寸 | 1200*1200*1700mm（300*00mm幅面约1000 大尺寸及双光路 \/1280*1400*1750mm（300*300mm幅面内）约1800Kg 皮秒\/飞秒 电话联系 \/1800*1800*1750mm（600*600mm幅面内） 约2500kg皮秒\/飞秒 |
| 设备重量 | 3500kg |
| 功率 | 5W\/10W\/15W\/20W\/30W\/40W |
| 可处理文件格式 | 标准CAD DXF文件 |
| 热影响区 | ＜5μm\/＜3μm |
| 直线度 | ±10μm\/±5μm（最小可至±1μm）\/±20μm |
| Z轴电机行程 | 50mm（自动软件控制）\/手动500mm |
| 设备功耗 | ＜2500W\/＜3000W\/＜1500W |
| 可售卖地 | 北京;天津;河北;山西;内蒙古;辽宁;吉林;黑龙江;上海;江苏;浙江;安徽;福建;江西;山东;河南;湖北;湖南;广东;广西;海南;重庆;四川;贵州;云南;西藏;陕西;甘肃;青海;宁夏;新疆 |
| 型号 | 纳秒绿光ET200MG、飞秒红外ET300IR-FS皮秒紫外ET300UV-PS、皮秒绿光ET300MGPS、飞秒绿光ET300MG-FS、实验室刻蚀机 ET100IR\/ET100MG | |
