首页 >产品 >减速机/变速机 > 精密减速机> 精密谐波减速机>日本HD离子设备谐波CSF-50-160-2UH

日本HD离子设备谐波CSF-50-160-2UH

数量(台)	价格
100	22112.00元/台

最小起订： 1台
发货地址：上海嘉定区
发布日期：2024-04-16
访问量：856

咨询电话：131-6286-1726

打电话时请告知是在机电之家网上看到获取更多优惠。谢谢！

立即询价立即拿样

上海浜田实业有限公司

实名认证企业认证

企业地址：上海市嘉定区爱特路877号歆翱国际商务园D幢510室

营业执照：已审核
经营模式：代理商-私营有限责任公司
所在地区：上海嘉定区
家家通积分：16061分

进入旺铺手机旺铺

扫一扫，添加微信好友

详细参数
品牌	HarmonicDrive	型号	CSF-50-160-2UH,
类型	谐波减速器	载荷状态	强冲击载荷
传动比级数	无级	轴的相对位置	立式加速器
传动布置形式	摆线式	加工定制	是
样品或现货	现货	齿面硬度	硬齿面
布局形式	三环式	用途	减速机
输入转速	1450rpm	额定功率	360kw
输出转速范围	50rpm	许用扭矩	691N.m
使用范围	矿产	减速比	50
产地	日本

产品详情

常用的干法等离子体反应器类型包括圆筒式等离子体反应器、平板式反应器、日本HD离子设备谐波CSF-50-160-2UH顺流刻蚀系统、三级平面反应器、离子铣、反应离子刻蚀器、高密度等离子体刻蚀机等。

图2.19所示为由平板反应器构成的平板等离子刻蚀机系统日本HD离子设备谐波CSF-50-160-2UH。反应器有两个大小和位置对称的平行金属板，硅片背面朝下放置于接地的阴极上面，RF信号加在反应器的上电极。由于等离子体电势高于地电势，因此这是一种带能离子进行轰击的等离子体刻蚀模式。一个刻蚀系统的能力及控制方法对成功加工硅片非常关键。

早期湿法腐蚀主要用于硅片刻蚀，现在湿法腐蚀的功能大部分被干法刻蚀代替。目前湿法腐蚀主要用于漂去氧化物、去除残留物、表层剥离，以及较大特征尺寸的图形腐蚀。湿法腐蚀设备较为简单，日本HD离子设备谐波CSF-50-160-2UH通常使用一个液体槽，采用浸泡或喷射的方法批量处理硅片。

湿法腐蚀设备的主要控制参数包括溶液浓度、浸泡时间、腐蚀槽的温度、溶液槽的搅动、处理硅片的批次等。