产品详情
产品特点
闭式气浮结构
直驱零齿槽效应
定位精度±0.5arc sec
同步轴向跳动误差10nm
精准回零误差
高速度稳定性
解决气浮轴抱死问题
立式或卧式使用
应用领域
NOTE系列气浮转台具有高定位、速度稳定性和同步纳米级跳动误差，可立式或卧式使用，出色的跳动误差满足晶圆加工及检测、超精密加工、轮廓测量、高精度计量、光学检测和MEMS/纳米技术设备等高端行业。
结构特点
由无齿槽直驱力矩电机、闭式气浮轴承和精密反馈装置组成，径向双气路结构设计，使径向有出色的载荷力，安装结构上可选择立式或卧式使用，且能组合AB气浮轴，达到高正交性及高相交度。无齿槽设计固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射，适合在各种速度下平滑转动，无气浮抱死问题。
精度性能
NOTE系列气浮转台的定位精度±0.5arc sec, 重复定位精度≤0.5arc sec, 同步轴向跳动误差10nm，同步径向跳动误差50nm, 摆角误差3μrad, 电动控制和手动转动跳动误差一致，使用寿命10年以上。
闭环反馈
圆光栅闭环反馈，运用高性能控制系统，分辨率优于0.01arc sec，结构设计上，气浮转台能精准回到零点位置。
定制化
气浮AB轴满足曲面加工、测试的应用。可定制安装滑环，用于空间模拟装置，MEMS和惯性导航等应用。
规格指标
|
型号Model |
单位 Units |
NOTE-50 |
NOTE-100 |
NOTE-150 |
NOTE-200 |
NOTE-250 |
NOTE-300 |
NOTE-400 |
NOTE-500 |
|
|
行程Travel |
° |
360 |
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|
台面直径Tabletop Diameter |
mm |
80 |
114 |
120 |
148 |
198 |
248 |
348 |
448 |
|
|
通孔直径Aperture Diameter |
mm |
10 |
20 |
30 |
40 |
40 |
45 |
50 |
60 |
|
|
补偿后定位精度 Accuracy |
高精版Plus |
arc sec |
±0.5 |
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|
普通版Standard |
±2 |
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|
双向重复定位精度 Bi-DirRepeatability |
高精版Plus |
arc sec |
≤0.5 |
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|
普通版Standard |
≤1 |
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|
同步轴向跳动误差 SynchronousAxial Error Motion |
高精版Plus |
nm |
10 |
100 |
||||||
|
普通版Standard |
250 |
|||||||||
|
同步径向跳动误差 SynchronousRadial Error Motion |
高精版Plus |
nm |
10 |
150 |
||||||
|
普通版Standard |
300 |
|||||||||
|
同步摆角误差 SynchronousTilt Error Motion |
高精版Plus |
μrad |
3 |
|||||||
|
普通版Standard |
6 |
|||||||||
|
异步轴向跳动误差 AsynchronousAxial Error Motion |
高精版Plus |
nm |
≤ 2.5 |
≤ 25 |
||||||
|
普通版Standard |
≤ 30 |
|||||||||
|
异步径向跳动误差 AsynchronousRadial Error Motion |
高精版Plus |
nm |
≤ 2.5 |
≤ 25 |
||||||
|
普通版Standard |
≤ 30 |
|||||||||
|
异步摆角误差 AsynchronousTilt Error Motion |
高精版Plus |
μrad |
≤ 0.2 |
|||||||
|
普通版Standard |
≤ 0.5 |
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|
电子分辨率Electronic Resolution(1) |
arc sec |
<0.01 |
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|
最大速度(空载) Max Speed (No Load)(2) |
rpm |
300,（≥1000定制） |
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|
最大负载 Max Load |
轴向Axial Dir |
kg |
5 |
20 |
30 |
45 |
75 |
100 |
350 |
500 |
|
径向Radia Dir |
3 |
10 |
15 |
27 |
38 |
55 |
160 |
250 |
||
|
供气压力Operating Pressure(3) |
MPa |
0.5±0.05 |
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材料Material |
/ |
航空7075铝合金（表面氧化处理） |
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注：
以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在转动台面上25mm处，测试速度10deg/s，Renishaw激光干涉仪及自带分析方法测量，精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如需非标准测试，请咨询我们。
1. 电子分辨率取决编码器线数及控制器的细分倍数。
2. 空载条件下指标，最大转速取决于负载大小。
3. 为保护气浮轴承建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的（过滤至0.25μm或更佳，ISO8573-1），无水（压力露点-20℃，ISO8573-1级别3）及无油（ISO8573-1级别1）。
4. 无特殊项目要求，出厂默认为准。
