产品详情
简单可靠的气体分析解决方案
在线气体分析系统
内置四级质谱仪
应用广泛的气体分析测试专家
爱柯锐 BLD-02
四级质谱过程分析是对各类气相分子能精确定性定量检测的一种快速、灵敏和可靠的方法，可以快速解决客户各种繁杂气体分析测试的问题。
ACT的创新技术旨在大幅提高气体过程检测分析仪的易用性、性能和可靠性，使您高枕无忧，代表了我们持久专注气体快速分析的技术的新成果。
气体检测从未如此简单
爱柯锐质谱仪专为简便易用和优化性能而设计，对于大多数常见应用（气体的定性定量分析、气体过程分析、泄漏检测等），用户可以根据自己的实际情况，配置连接方式、正确设置参数。
直观的触摸屏界面为操作人员、工艺工程师和维护技术人员提供便捷的操作菜单。
值得信赖的气体分析转件
爱柯锐提供完整的解决方案和技术支持，该解决方案拥有一年的标准质保期（提供两年和三年质保的可选配置），并享有 全球服务、全球备件网络以及各种订制化服务合同的支持。
凭借卓越的使用维护成本、实际应用性能和易用性等优势。
全新设置
灵活测真空系统配置
高灵敏度传感器和智能操作的结合 ，使BLD-02成为您各类分析测试的完美解决方案
双检测模式
低压检测环境下，可直接对接真空法兰，实现快速便捷的过程分析；高压检测环境下，可接入采样管，匹配直接进样和循环测量。
全新分析软件
全新开发的操作软件，更加易用可靠。所有测量结果均可保存上传至 地方。新一代高效气体分析解决方案，智能软件，操作简便，紧凑设计
质谱与工作站的有机统一
全新的 BLD-02 匹配有高性能的涡轮分子泵和隔膜泵 ，无油的 高真空环境为质谱的分析提供本底 ，所有组件全在一体，节省您宝贵的实验室；
不同的测量软件为您的气体分析提供广泛的测试解决方案； 普适性的测量程序，集成高科技组件；
集成电脑于设备上，实现分析软件与控制系统的有机整合，匹配广泛的应用！
广泛的应用
ALL IN ONE 的气体分析解决方案
成功的气体分析解决方案很大程度上取决于应用条件。以下是几种常见应用以及可获得超高可靠性结果的理想配置解决方案示例。
特种气体分析
- 药瓶的泄漏分析
- 空调行业冷媒泄漏测试
- 特气钢瓶除杂
- 清洗工艺监控
- 真空法兰对接低压检测需求
锂电池漏液分析
- 单体电芯的漏液分析检测
- 电池模组的漏液分析检测，适配电芯产线的半自动检测
- 电池包体内的电芯的漏液检测内漏分析-电池包壳体的泄漏检测
半导体过程分析
适配用于 ALD、CVD、PVD 和蚀刻等半导体工艺的过程监控器。实现晶圆和面板保护以及工艺优化。
- 化学气相反应;
- 腔体泄漏分析;
- 鉴别痕量污染物;
- 测量过程反应与本底的组分;
- 定性气体纯度
重新定义气体的快速分析测试方案
实用、快速、便捷
通讯接口信息
多功能扩展接口
数据端口与联用
8 模 拟 量 输 出
8 模拟量 输入 1 0 数字量输 出
5 数 字量 输 入
与其他仪器联动，数据共享
网络通讯
可外接独立上位机系统
可独立与质谱仪软件通讯
规管连接
独立的内部压力管控
全量程数字规或者模拟规管，保护质谱仪不受压力上升的影响
| I/O选项 | 模拟输出 | 模拟输入 | 数字输出 | 数字输入 |
| 数量 | 8 | 8 | 10 | 5 |
| 规格 | 0-10V | (-10-+10V) | Vout=24V | Vin=24V |
| 分辨率 | 16 bit | 16 bit | － | － |
| 应用程序示例 |
测量值； 例：离子电流 浓度比； 数据传输到更高等级的系统。 |
读取外部参数； 例：压力、温度、流速 |
阀门驱动； 自由切换量程 |
启动或停止测量任务的方式外部信号 |
技术参数
| 真空系统 | HiPace 80 | |||||||
 涡轮分子泵
|
60-80 l/s | |||||||
|
前级泵 |
1 m3/h | |||||||
| 辅助泵 | 3 m3/h（可定制大抽速泵） | |||||||
| 低真空计 | 复合全量程真空计 | |||||||
|
入口真空计 |
皮拉尼 |
|||||||
|
可测试气体 |
|
|||||||
|
测量范围 |
from 1 to 100amu (200/300可选) |
|||||||
|
进样系统
|
真空法兰，进样管等 | |||||||
|
真空法兰 |
KF25 |
|||||||
|
|
可配置入口腔体和对接波纹管 |
|||||||
|
常压法兰 |
1/16卡套，石英管，peek，不锈钢管等 |
|||||||
|
辅热（选配） |
200/350℃辅热 |
|||||||
|
|
QMG 250 F1 |
QMG 250 F2 |
QMG 250 F3 |
QMG 250 M1 |
QMG 250 M2 |
QMG 250 M3 |
||
|
检测器 |
Faraday (F) |
C-SEM/Faraday (M) |
||||||
|
质量范围 |
1– 100 u |
1– 200 u |
1– 300 u |
1– 100 u |
1– 200 u |
1– 300 u |
||
|
四极杆 直径/长度 |
6 mm / 125 mm |
|||||||
|
最小可检测分压, Faraday3) |
4 · 10- 13 hPa |
5 · 10- 13 hPa |
7 · 10- 13 hPa |
|
|
|
||
|
最小可检测分压, C-SEM3)4) |
– |
– |
– |
3 · 10- 15 hPa |
4 · 10- 15 hPa |
5 · 10- 15 hPa |
||
|
Ar 灵敏度, Faraday5) |
5 · 10-4 A/hPa |
4 · 10-4 A/hPa |
3 · 10-4 A/hPa |
5 · 10-4 A/hPa |
4 · 10-4 A/hPa |
3 · 10-4 A/hPa |
||
|
最大操作压力, Faraday operation |
5 · 10-4 hPa |
|||||||
|
最大操作压力, C-SEM operation |
– |
– |
– |
5 · 10-5 hPa |
5 · 10-5 hPa |
5 · 10-5 hPa |
||
|
相邻质量干扰 (40/41) |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
||
|
最大工作温度, 分析单元 |
200 °C (max. 150 °C when operating with SEM) | |||||||
|
工作温度, electronics |
5 – 50 °C |
|||||||
|
烘烤温度, analyzer |
300 °C |
|||||||
|
对接法兰 |
DN 40 CF-F |
|||||||
|
分辨率在10 %峰高处 |
0.5 – 2.5 u |
|||||||
|
扫描速度 |
1 ms – 16 s/u |
|||||||
|
峰值比重现性 |
± 0.5 % |
|||||||
|
通讯接口 |
Ethernet |
|||||||
|
供电 |
100–240 V AC, 50/60 Hz |
|||||||
|
|
||||||||
|
BLD-02 |
||||||||
|
全重 |
60 - 120 kg |
|||||||
|
尺寸 |
950*408*1200mm（L*W*H） |
|||||||
应用咨询和服务
应用咨询
ACT应用工程师将分析您的应用并就如何优化气体分析测试给出建议
服务和支持选项
ACT拥有由专业服务人员组成的全球网络资源以及各种支持选项
– 实现您的需求
– 提高工作效率
– 确保您的仪器完全满足各种复杂的应用
完 整 的 气 体 分 析测 试 解 决 方 案
ACT 真 空 代 表 全 球 创 新 和 定 制 的 气体分析测 试 解 决 方 案 ， 技 术 完 美 ， 合 理 的 建 议 和 可 靠 的 服 务
气 体 分 析 产 品 全 覆 盖
我 们 拥 有 从 质 谱 色 谱 到 光 谱 的 所 有 产 品 和 解 决 方 案 ， 解决您多重复杂气体和复杂环境中的气体分析，匹配于广泛的气体分析测试应用环节。
理 论 和 实 践 能 力
受 益 于 我 们的 专 业 知 识 和 我 们 的 培 训 ！ 我 们 支 持 您 的 气 提 分 析 ， 并 为 您 提 供 一 流 的 现 场 服 务。
