产品详情
氦气检漏仪
品牌:德国Inficon
型号:UL1000Fab
Infincon UL 1000 Fab氦气捡漏仪是工业或半导体环境中经济型氦气真空检漏的著名标准。通过仪器的干泵技术,可以消除被测试部件或设备受到碳氢化合物或颗粒的潜在污染。UL1000 Fab在高性能、高稳健性和可负担性之间提供了折中。
优势:
通过快速泵降和响应时间,最大限度地减少泄漏测试工作;通过使用可选择的背景抑制来避免需要多次泄漏测试;通过可操作的设计,可以轻松进入空间有限的维修区域;低总拥有成本(TCO)由强大的两个热丝离子源和逆流真空系统实现;易于使用,可旋转显示,光学和听觉泄漏指示,和可选的遥控器;通过内置测试泄漏与自动校准程序实现低维护。
典型应用:
对洁净度要求较高的工业真空设备制造;在将组件或组件安装在现有工具中之前对其进行真空处理;真空工具的维护工作,有或没有自己的泵的支持;过程气体系统的检查和安装;半导体、平板显示器或太阳能电池制造。
技术参数:
最小检测的泄漏率(真空模式):<5×10-12 mbar·I/S
最小检测的泄漏率(嗅探器模式):<5×10-8 mbar·I/S
最大进口压力;15 mbar
疏散时的抽速:25m3/h
氦在入口出的抽速(ULTRA模式):2.5l/s
可检测的质量(ULTRATEST传感器技术):2, 3, 4(H2, 3He, He)
供应电压:100-120 V;220-240 V
重量:110kg
尺寸(含把手):1068*525*850mm(42*21*33)


