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日本精密陶瓷陶瓷材料中硬度最高、耐腐蚀性优异、在液体中的滑动特性良好的碳化硅球
碳化硅（SiC）
碳化硅（SiC）是我司最擅长的材料。拥有专用大型真空炉，可生产1m见方的产品。
- 高温机械强度
- 耐磨耗性
- 高热传导性
- 耐腐蚀性
主要用途
- 滑动部件（机械密封、化工泵轴承、轴）
- 粉碎机部件（分级机、气流粉碎机、砂磨机）
- 半导体制造设备部件（XY平台、MOCVD托盘、聚焦环、晶圆夹盘）
- 成型机部件（相机镜头成型机部件）
- 耐热部件（燃烧器喷嘴、高温试验机部件、熔融金属用坩埚）
- 耐磨部件（喷砂机喷嘴、喷丸机抛丸机叶片、埋地管道保护板、钓具导向环）
特点
碳化硅是一种黑色陶瓷，和其他的精密陶瓷相比，在高温环境（1000℃以上）中机械强度降低幅度小、耐磨耗性高。
因其强共价键，在各种精密陶瓷材料中硬度最高、耐腐蚀性优异、在液体中的滑动特性良好。
利用这些特点，使用在机械密封、化工泵轴承等方面。此外，也可用于半导体生产设备的晶圆叉等。
碳化硅
| 型号 | 特点 | 密度 | 杨氏弹性模量 | 弯曲强度 | 断裂韧性 | 热膨胀系数 | 热传导率 | 体积电阻 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| [g/cm3] | [GPa] | [MPa] | [MPa・m1/2] | [×10-6/K] | [W/m・K] | [Ω・cm] | ||
| SCP01 |
耐腐蚀 高硬度 |
3.1 | 430 | 490 | 3 | 3.1 | 140 | 104 |
| SCP02 |
高热传导 高电阻 |
3.1 | 430 | 490 | 3 | 3.1 | 170 | 106 |
| SCP03 |
高强度 气孔小 |
3.1 | 436 | 700 | 3 | 3.1 | 132 | － |
热膨胀系数为RT～200℃时的测量数据。
