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支持定制兆声波晶圆清洗机硅片单片清洗机去胶剥离清洗清洗机

数量(台) 价格
189 1280000.00元/台
  • 最小起订: 1台
  • 发货地址: 广东 深圳市
  • 发布日期:2022-08-02
  • 访问量:1689
咨询电话:139-2280-3857
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深圳市精英超声设备有限公司

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详细参数
品牌elitesonic精英型号HC-1000A
类型兆声波晶圆清洗机移动方式其他
水温其他加工定制
产地广东深圳

产品详情

一、主要用于单片式ITO导电玻璃、盖板玻璃、硅片、光刻自动清洗、去胶剥离清洗

二、基本参数

     1.工件尺寸:40*40mm/50*50mm/200*200mm  4寸-12寸硅片 

     2.设备结构形式:封闭式清洗

     3.清洗专用片盒放置位置数量:2个

     4.单个片盒存放基片数量:25片

     5.片盒检测:传感器

     6.机械手臂转轴:4轴机器人

     7.机械手臂对位精度:±0.1mm

     8.漏扫及错扫率:<1/10000

     9.清洗主轴转速:额定3000RPM

     10.承片台:夹持多点支撑、机械安全限位的方式

三、备件耗材

     1.清洗液过滤器:2套

     2.N2过滤器:2套

     3.去离子水过滤器:2套

     4.毛刷:2套

    有意向的亲们欢迎联系24小时服务热线:13922803857谢小姐

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